[實用新型]一種檢測PVC上微結構之間相似比例的裝置

有效

• 申請號: 201720760727.9
• 申請日: 2017-06-28
• 公開（公告）號: CN207036728U
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發明（設計）人: 伊思萊爾·戈伊陀姆·比日哈尼;陶衛東;胡雪芳;顧銀煒;潘雪豐
• 申請（專利權）人: 寧波大學
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 寧波奧圣專利代理事務所(普通合伙)33226
• 代理人: 周玨

技術領域

本實用新型涉及一種微結構檢測技術，尤其是涉及一種檢測PVC（Polyvinyl chloride，聚氯乙烯）上微結構之間相似比例的裝置。

背景技術

隨著微加工技術的快速發展，微結構及器件的研制已經成為了一個熱門的領域，但是微加工而成的微結構及器件難免與所需要制備的樣品之間存在一定的差異。例如，飛秒激光雙光子微加工因其無掩模、真三維的加工優勢顯示出了巨大的應用潛力，近年來受到了廣泛關注，但是在微加工過程中因受基片與聚合物材料結合力度、微加工平臺精度以及環境等因素的影響，微加工而成的微結構時常會有一些缺陷存在。因此，研究一種檢測PVC上微結構之間相似比例的裝置，對利用飛秒激光雙光子微加工等方法微加工而成的微結構與所需要制備的樣品之間相似比例進行評估是很有必要的。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種檢測PVC上微結構之間相似比例的裝置，其能夠準確獲得PVC上微結構之間的相似比例，從而能夠很好地判斷微結構在重復微加工過程中的加工質量或缺陷，有利于改進微加工過程中的參數，以提高微加工質量。

本實用新型解決上述技術問題所采用的技術方案為：一種檢測PVC上微結構之間相似比例的裝置，其特征在于：包括PVC上微結構獲取裝置和相似比例檢測系統，所述的PVC上微結構獲取裝置制備有兩個微結構，分別作為樣品和待測微結構，所述的相似比例檢測系統由用于獲取樣品和待測微結構各自的圖片的圖片獲取設備、計算機終端、數據處理模塊、用于顯示PVC上微結構之間相似比例的數據顯示設備組成，所述的數據處理模塊包括用于輸入樣品和待測微結構各自的圖片的圖片輸入模塊和用于獲取樣品和待測微結構的圖片之間相似比例的樹莓派計算模塊，所述的圖片獲取設備的輸出端與所述的計算機終端連接，所述的計算機終端與所述的圖片輸入模塊的輸入端連接，所述的圖片輸入模塊的輸出端與所述的樹莓派計算模塊的輸入端連接，所述的樹莓派計算模塊的輸出端與所述的數據顯示設備的輸入端連接。

所述的PVC上微結構獲取裝置由載波片、PVC塑料片和蓋玻片組成，所述的PVC塑料片設置于所述的載波片的上表面上，所述的PVC塑料片的上表面的對稱兩側各設置有一個襯墊，所述的PVC塑料片的上表面且位于兩個所述的襯墊之間的區域構成微結構制備區域，所述的微結構制備區域內制備有分別作為樣品和待測微結構的兩個微結構，所述的蓋玻片設置于兩個所述的襯墊的上表面上，且覆蓋住制備的兩個微結構。在此，在PVC塑料片的上表面上制備兩個微結構，兩個微結構能夠很好地吸附于PVC塑料片的上表面上，從而使得兩個微結構更加牢固。

所述的載波片的表面面積大于所述的PVC塑料片的表面面積，所述的PVC塑料片通過紫外膠固定于所述的載波片的上表面的中央區域上。在此，利用紫外膠固定PVC塑料片和載波片，不僅方便，而且牢固。

所述的微結構制備區域內滴有光刻膠，所述的蓋玻片設置于兩個所述的襯墊的上表面上后使所述的光刻膠均勻分布，利用飛秒激光雙光子微加工技術或電子束光刻技術微加工所述的光刻膠獲得兩個微結構。在此，先利用蓋玻片使微結構制備區域內的光刻膠分布均勻，再利用飛秒激光雙光子微加工技術或電子束光刻技術對光刻膠進行微加工得到兩個微結構。

所述的圖片獲取設備為顯微鏡，顯微鏡可為通用顯微鏡，也可為掃描電子顯微鏡，還可采用現有的其它拍攝設備。

所述的數據顯示設備為液晶顯示屏等顯示設備。

所述的圖片獲取設備的輸出端與所述的計算機終端之間、所述的圖片輸入模塊的輸出端與所述的樹莓派計算模塊的輸入端之間、所述的樹莓派計算模塊的輸出端與所述的數據顯示設備的輸入端之間均通過數據線連接，所述的計算機終端與所述的圖片輸入模塊的輸入端之間通過無線網絡或有線網絡連接。

與現有技術相比，本實用新型的優點在于：

1）該裝置利用樹莓派計算模塊能夠準確計算得到樣品和待測微結構的圖片之間的相似比例，即能夠準確獲得PVC上微結構之間的相似比例，精度高、可靠性好，從而能夠很好地判斷微結構在重復微加工過程中的加工質量或缺陷，這樣有利于改進微加工過程中的參數，以提高微加工質量。

2）該裝置在檢測過程中只需利用圖片獲取設備分別獲取樣品和待測微結構各自的圖片即可，因此不會對兩個微結構造成損壞。

附圖說明

圖1為本實用新型的檢測PVC上微結構之間相似比例的裝置中的PVC上微結構獲取裝置的正視圖；