[實(shí)用新型]具有多引出電極柵網(wǎng)的離子源有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720759446.1 | 申請日： | 2017-06-27 |
| 公開（公告）號： | CN206921784U | 公開（公告）日： | 2018-01-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉杰;劉康 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海偉釗光學(xué)科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J49/10 | 分類號： | H01J49/10 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201822*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 引出 電極 離子源 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種具有多引出電極柵網(wǎng)的離子源，其特征在于其柵網(wǎng)板在圓周方向上多個(gè)位置預(yù)先制作多個(gè)引出電極，柵網(wǎng)板在圓周方向上有多個(gè)位置可與固定接線樁相連接。
2.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于其柵網(wǎng)板上多個(gè)引出電極是軸對稱均勻分布的。
3.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于其柵網(wǎng)板上多個(gè)引出電極是圓周方向間隔180°分布的。
4.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于其柵網(wǎng)板上多個(gè)引出電極是圓周方向間隔120°分布的。
5.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于其柵網(wǎng)板上多個(gè)引出電極是圓周方向間隔90°分布的。
6.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于其柵網(wǎng)板指射頻離子源的屏極、加速極、抑制極三層?xùn)啪W(wǎng)板。
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