[實(shí)用新型]一種多片式化學(xué)水浴鍍膜設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720753184.8
• 申請(qǐng)日: 2017-06-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207062377U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-03-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝淑日
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣恒基股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C18/00
• 分類號(hào): C23C18/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11139
• 代理人: 孫皓晨

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型提供一種多片式化學(xué)水浴鍍膜設(shè)備，尤指應(yīng)用于薄膜太陽(yáng)能電池制程中，且透過(guò)少量鍍膜液來(lái)鍍膜多片基材的鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)

由于現(xiàn)今人類能源的不斷消耗，使得能源危機(jī)于近年來(lái)被廣泛的討論且尋求改善的方法，而目前常見(jiàn)的發(fā)電型態(tài)有水力發(fā)電、火力發(fā)電及核能發(fā)電等，其中水力發(fā)電雖可利用天然的水資源來(lái)對(duì)發(fā)電機(jī)作功而產(chǎn)生電能，但為了儲(chǔ)蓄足夠的水資源，則必需于山川、河谷中建造大型的水庫(kù)，其水庫(kù)的建造不僅需耗費(fèi)高額的金錢，且會(huì)破壞周遭的大自然景觀和生態(tài)環(huán)境，若利用火力來(lái)進(jìn)行發(fā)電，就必須要大量進(jìn)口石油、天然氣、煤等燃料，而燃料為消耗型能源，所以便會(huì)提高發(fā)電成本且造成空氣污染，再者，目前核能發(fā)電近年來(lái)雖逐漸取代水力及火力發(fā)電，然而，其輻射安全一直備受大眾所疑慮，且發(fā)電后所產(chǎn)生的核能廢水、核廢料，均會(huì)造成周遭生態(tài)環(huán)境的污染及破壞，且核能電廠設(shè)備精密，以致于建造成本高昂，因此，核能發(fā)電亦具有污染環(huán)境及成本高昂等問(wèn)題存在，所以不論是水力、火力或核能發(fā)電均有環(huán)保、安全、資源耗費(fèi)或高成本等不盡理想之處。

因此，世界各國(guó)開(kāi)始朝向開(kāi)發(fā)天然資源方向發(fā)展發(fā)電的技術(shù)，用以尋求對(duì)環(huán)境產(chǎn)生污染甚小的發(fā)電系統(tǒng)，如太陽(yáng)能發(fā)電、風(fēng)力發(fā)電、波浪發(fā)電或潮汐發(fā)電等，然而，太陽(yáng)能電池的結(jié)構(gòu)主要包括有基板、下電極層、吸收層、緩沖層、透光層、抗反射層、上電極層等，其中，該緩沖層為可用于保護(hù)電池表面，以避免于后續(xù)電漿制程中受到損傷，若緩沖層過(guò)薄即無(wú)法阻擋電漿而產(chǎn)生損傷，而若緩沖層過(guò)厚則會(huì)增加電阻，導(dǎo)致電池效率迅速下降，所以緩沖層厚度與均勻度等均會(huì)影響太陽(yáng)能電池的發(fā)電效率及質(zhì)量，因此，緩沖層的制程、厚薄度即必需嚴(yán)格控管。

然而，一般太陽(yáng)能電池中緩沖層的生產(chǎn)方式為利用化學(xué)水浴沉積法 (Chemical Bath Deposition；CBD)鍍膜技術(shù)，此種鍍膜技術(shù)于化學(xué)水浴槽內(nèi)添加鍍膜液，并于鍍膜液中浸泡有至少一片緩沖層的基材，再透過(guò)加熱裝置來(lái)對(duì)鍍膜液加熱，以藉由鍍膜液來(lái)對(duì)基材鍍膜，而這種鍍膜方式因氣泡排除不易，所以鍍膜均勻度差，以致于制造出的太陽(yáng)能電池的質(zhì)量相當(dāng)差，且因鍍膜的過(guò)程中，亦需于化學(xué)水浴槽中添加大量鍍膜液，所以待鍍膜作業(yè)完成后，亦會(huì)伴隨著大量的廢液產(chǎn)生，進(jìn)而對(duì)周圍環(huán)境造成影響。

因此，要如何解決上述問(wèn)題與缺失，為從事此行業(yè)的相關(guān)廠商所亟欲研究改善的方向。

發(fā)明內(nèi)容

申請(qǐng)人有鑒于上述缺失，搜集相關(guān)資料，經(jīng)由多方評(píng)估及考慮，并以從事于此行業(yè)累積的多年經(jīng)驗(yàn)，經(jīng)由不斷試作及修改，設(shè)計(jì)出本實(shí)用新型。

本實(shí)用新型的主要目的在于該復(fù)數(shù)基材于鍍膜作業(yè)時(shí)，可透過(guò)擺放呈平面狀的復(fù)數(shù)基材，來(lái)減少使用鍍膜液，藉以降低材料、制造成本，且使用少量的鍍膜液亦可縮短鍍膜液到達(dá)化學(xué)反應(yīng)的時(shí)間，進(jìn)而縮短整體制程的時(shí)間，且待鍍膜完成后，亦可減少?gòu)U液的產(chǎn)生，藉此達(dá)到降低處理廢液的成本及環(huán)境影響的目的。

本實(shí)用新型的次要目的在于該水浴鍍膜機(jī)臺(tái)加熱時(shí)，可藉由水浴鍍膜槽體來(lái)直接對(duì)復(fù)數(shù)基材進(jìn)行加熱，以提高對(duì)復(fù)數(shù)基材加熱均勻性，藉此減少均質(zhì)成核的生成及提升鍍膜均勻度，且可配合搖晃裝置使用，以達(dá)到提升鍍膜均勻度及加速化學(xué)反應(yīng)速度的目的。

本實(shí)用新型的另一目的在于該輸送機(jī)臺(tái)為可透過(guò)承載機(jī)構(gòu)的復(fù)數(shù)磁吸裝置來(lái)于進(jìn)料機(jī)臺(tái)上吸取有多片基材，以使各基材穩(wěn)固定位于承載機(jī)構(gòu)的定位區(qū)間中，并配合輸送機(jī)臺(tái)的傳動(dòng)模塊及縱向升降模塊來(lái)將承載有復(fù)數(shù)基材的承載機(jī)構(gòu)運(yùn)送至水浴鍍膜機(jī)臺(tái)、清洗機(jī)臺(tái)及取料機(jī)臺(tái)中進(jìn)行各自的作業(yè)，進(jìn)而具有自動(dòng)化、量產(chǎn)化的效果，藉此達(dá)到降低制程時(shí)間及提升制程效率、產(chǎn)能的目的。

本實(shí)用新型的再一目的在于該承載機(jī)構(gòu)為可依不同尺寸的基材來(lái)變更復(fù)數(shù)定位區(qū)間的尺寸，即可透過(guò)更換承載機(jī)構(gòu)，來(lái)供不同尺寸的復(fù)數(shù)基材置放，進(jìn)而提升使用上的便利性，達(dá)到降低設(shè)備成本的目的。

本實(shí)用新型的又一目的在于該復(fù)數(shù)基材為透過(guò)復(fù)數(shù)磁吸裝置來(lái)分別穩(wěn)固定位于承載機(jī)構(gòu)的復(fù)數(shù)定位區(qū)間中，進(jìn)而避免于運(yùn)輸或鍍膜等過(guò)程中，產(chǎn)生偏移、掉落情況，藉此提升作業(yè)時(shí)的穩(wěn)定、流暢性，進(jìn)而達(dá)到提高作業(yè)時(shí)的精確、準(zhǔn)確度的目的。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)手段為：

一種多片式化學(xué)水浴鍍膜設(shè)備，包括輸送機(jī)臺(tái)、進(jìn)料機(jī)臺(tái)、水浴鍍膜機(jī)臺(tái)、清洗機(jī)臺(tái)及取料機(jī)臺(tái)，其中：