[實用新型]一種分體式坩堝護板有效
| 申請號: | 201720747176.2 | 申請日: | 2017-06-26 |
| 公開(公告)號: | CN207109139U | 公開(公告)日: | 2018-03-16 |
| 發明(設計)人: | 明亮;黃美玲;瞿海斌;段金剛;邱昊 | 申請(專利權)人: | 湖南紅太陽光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B28/06 | 分類號: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 湖南兆弘專利事務所(普通合伙)43008 | 代理人: | 周長清,徐好 |
| 地址: | 410205 湖南省*** | 國省代碼: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 體式 坩堝 | ||
技術領域
本實用新型涉及半導體、光伏器件的制造設備領域,尤其涉及一種分體式坩堝護板。
背景技術
在多晶硅鑄錠過程中,需要使用坩堝護板對石英坩堝進行保護,起到隔離污染作用。在實際使用過程中,需要將四塊坩堝護板拼接固定在裝有硅料的石英坩堝外側,配合碳-碳蓋板和碳-碳底板形成封閉的空間。
隨著多晶鑄錠技術的發展,鑄錠的種類越來越多,主要包括:提純錠、半熔高效多晶硅錠、全熔高效多晶鑄錠和鑄造單晶硅錠等。不同類型鑄錠對坩堝高度要求也不一致,從而坩堝護板高度也要隨之調整,導致現有的坩堝護板需要重新設計和購買,造成資源浪費。另一方面,在多晶鑄錠過程中,由于坩堝質量或者裝料細節等影響,在鑄錠過程中會出現硅液溢流現象,容易導致坩堝護板全部損壞,造成鑄錠成本大幅度增加。
實用新型內容
本實用新型要解決的技術問題是克服現有技術的不足,提供一種結構可靠、使用方便、能夠根據坩堝高度靈活調整、有利于降低生產成本的分體式坩堝護板。
為解決上述技術問題,本實用新型采用以下技術方案:
一種分體式坩堝護板,包括下層護板,所述下層護板上部設有出氣口,分體式坩堝護板還包括上層護板,所述上層護板上部設有所述出氣口,所述上層護板下部設有下凸部,所述上層護板的下凸部卡設于所述下層護板的出氣口內。
作為上述技術方案的進一步改進:
所述下層護板下部設有溢流口。
所述下層護板左右兩側均設有螺栓孔,所述上層護板左右兩側及上部均設有螺栓孔。
所述下層護板的高度為60mm-600mm,所述上層護板的高度為60mm-600mm。
所述下層護板和上層護板的寬度為156 mm -1560mm。
與現有技術相比,本實用新型的優點在于:本實用新型公開的分體式坩堝護板,在下層護板上卡接上層護板,從而可根據坩堝高度靈活調節護板的高度,同時下層護板的高度可靈活設置,在溢流時可避免造成大面積護板損壞;下層護板可采用現有的護板結構,上層護板可由現有的護板增設下凸部制成,無需做過多的結構改動,有利于節省原材料,降低生產成本;上層護板利用下凸部卡設于下層護板的出氣口內,結構可靠、契合牢固,不易產生橫向移動,且拆裝方便快速。
附圖說明
圖1是本實用新型的結構示意圖。
圖2是本實用新型中的下層護板的結構示意圖。
圖3是本實用新型中的上層護板的結構示意圖。
圖中各標號表示:1、下層護板;2、出氣口;3、上層護板;31、下凸部;4、溢流口;5、螺栓孔。
具體實施方式
以下結合說明書附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。
如圖1至圖3所示,本實施例的分體式坩堝護板,包括下層護板1,下層護板1上部設有出氣口2,分體式坩堝護板還包括上層護板3,上層護板3上部設有出氣口2,上層護板3下部設有下凸部31,上層護板3的下凸部31卡設于下層護板1的出氣口2內。由于在多晶鑄錠過程中需要使用保護氣體(如氬氣)保護,所以必須在坩堝護板上開出氣口2,使保護氣體能夠順暢流通。其中,下層護板1上的出氣口2可以為1個、2個或多個,上層護板3上的下凸部31對應設置即可;上層護板3上的出氣口2也可以為1個、2個或多個。
本實用新型的分體式坩堝護板,在下層護板1上卡接上層護板3,從而可根據坩堝高度靈活調節護板的高度,同時下層護板1的高度可靈活設置,在溢流時可避免造成大面積護板損壞;下層護板3可采用現有的護板結構,上層護板可由現有的護板增設下凸部31制成,無需做過多的結構改動,有利于節省原材料,降低生產成本;上層護板3利用下凸部31卡設于下層護板4的出氣口2內,結構可靠、契合牢固,不易產生橫向移動,且拆裝方便快速。
下層護板1下部設有溢流口4。在鑄錠過程中常常會發生硅液溢流現象,溢流出的硅液可從溢流口4排出。本實施例中,溢流口4的數量為1個,在其他實施例中,也可為2個或多個。
本實施例中,下層護板1左右兩側均設有螺栓孔5,上層護板3左右兩側及上部均設有螺栓孔5。其中,下層護板1左右兩側的螺栓孔5、上層護板3左右兩側螺栓孔5便于使用時與相鄰護板連接、固定,上層護板3上部的螺栓孔5便于與蓋板連接、固定。
下層護板1的高度(圖中上下方向的尺寸)為60mm-600mm,上層護板3的高度為60mm-600mm,兩者的寬度(圖中左右方向的尺寸)為156 mm -1560mm,便于與不同規格的坩堝匹配;護板的材料可采用碳碳石墨復合材料。
雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上,然而并非用以限定本實用新型。任何熟悉本領域的技術人員,在不脫離本實用新型技術方案范圍的情況下,都可利用上述揭示的技術內容對本實用新型技術方案做出許多可能的變動和修飾,或修改為等同變化的等效實施例。因此,凡是未脫離本實用新型技術方案的內容,依據本實用新型技術實質對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾,均應落在本實用新型技術方案保護的范圍內。
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