[實用新型]一種可伸縮磁探針有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720746654.8 | 申請日: | 2017-06-26 |
| 公開(公告)號: | CN206948694U | 公開(公告)日: | 2018-01-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 林木楠;孫玄 | 申請(專利權(quán))人: | 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) |
| 主分類號: | H05H1/00 | 分類號: | H05H1/00;G01R33/10 |
| 代理公司: | 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司11251 | 代理人: | 楊學(xué)明,顧煒 |
| 地址: | 230026 安*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 伸縮 探針 | ||
1.一種可伸縮磁探針,其特征在于:包括石英管、陶瓷底座、電感、絲桿、波紋管、磁探針管、電極法蘭、電機,所述的陶瓷底座上刻有三個不同方向凹槽陣列以及半圓形走線槽,電感可固定于凹槽中,雙絞線一端與電感連接,另一端通過半圓形走線槽焊接到電極法蘭上,陶瓷底座的一端攻有外螺紋與磁探針管連接,所述的磁探針管攻有內(nèi)螺紋的一端伸入到真空室里,另一端與電機傳動座連接,所述的波紋管兩端焊接有法蘭座,分別與電機下固定座以及電機傳動座連接,所述的電機傳動座通過絲桿銅螺母與絲杠連接,所述的絲桿兩端分別與軸承相連,軸承分別安裝于電機下固定座以及電機上固定座,實現(xiàn)磁探針管的伸縮。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可伸縮磁探針,其特征在于:所述的波紋管法蘭座、電極法蘭、電機傳動座、電機下固定座、法蘭盤以及工字型法蘭管都采用氟橡膠圈密封。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可伸縮磁探針,其特征在于:法蘭盤通過第一密封圈以及螺栓安裝在真空腔體上,保證裝置的氣密性。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可伸縮磁探針,其特征在于:電機下固定座通過M6螺栓固定在法蘭盤上,電機下固定座與法蘭盤之間通過第二密封圈密封。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可伸縮磁探針,其特征在于:波紋管一端的法蘭座與電機下固定座通過第三密封圈進行密封,波紋管另一端的法蘭座與電機傳動座通過第四密封圈進行真空密封。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可伸縮磁探針,其特征在于:工字形法蘭管兩端的法蘭座分別與電機傳動座以及電極法蘭通過第五密封圈和第六密封圈進行真空密封。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可伸縮磁探針,其特征在于:兩根電機導(dǎo)向桿通過圓螺母與電機上固定座以及電機下固定座相連,貫穿電機傳動座。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可伸縮磁探針,其特征在于:電機固定在電機上固定座,同時與絲桿一端相連,可實現(xiàn)遠程控制。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可伸縮磁探針,其特征在于:所述的石英管套在陶瓷底座的外邊,石英管通過夾板與磁探針管相連。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可伸縮磁探針,其特征在于:電感為繞線式電感;磁探針管與法蘭盤之間通過T形銅固定套過渡;石英管的內(nèi)壁均勻鍍有一層銅膜。
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