[實用新型]二維全息衍射光柵制作裝置有效
| 申請號： | 201720742322.2 | 申請日： | 2017-06-24 |
| 公開（公告）號： | CN207074276U | 公開（公告）日： | 2018-03-06 |
| 發明（設計）人： | 柯朋 | 申請（專利權）人： | 上海盟云移軟網絡科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 200120 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 二維 全息 衍射 光柵 制作 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種二維全息衍射光柵制作裝置，其特征在于，包括一級制作裝置和二級制作裝置，所述一級制作裝置包括：第一激光器、可調分光鏡、反光鏡、第一擴束濾波器、第一透鏡、第二擴束濾波器和第二透鏡，所述二級制作裝置包括：第二激光器、第三擴束濾波器、第三透鏡和光刻掩模板，所述第一激光器發出的單束激光經所述可調分光鏡后分成兩束光，其中一束激光經由所述第一擴束濾波器擴束濾波后，經過所述第一透鏡形成一束平行光，所述平行光垂直入射到全息干版，另一束激光經所述反光鏡反射后再經由所述第二擴束濾波器擴束濾波后，經過所述第二透鏡形成另外一束平行光，入射到全息干版，兩束平行光夾角為θ，所述第二激光器發出的光束，經由所述第三擴束濾波器擴束濾波后，再通過所述第三透鏡轉換成為一束平行光，平行光束垂直入射到所述光刻掩模板上。
2.根據權利要求1所述的一種二維全息衍射光柵制作裝置，其特征在于，所述第一激光器和第二激光器為波長為457.9nm的固體藍光激光器，激光功率是50mw。
3.根據權利要求1所述的一種二維全息衍射光柵制作裝置，其特征在于，所述夾角θ的度數為3°～5°。
4.根據權利要求1所述的一種二維全息衍射光柵制作裝置，其特征在于，所述光刻掩模板上包括三個兩兩成120°對稱分布的光柵。
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