[實(shí)用新型]低噪聲MEMS光干涉信號高速采集裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720740473.4
• 申請日: 2017-06-23
• 公開（公告）號: CN207396340U
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳夕松;馮攀峰;王杰;張良朝
• 申請（專利權(quán)）人: 南京富島信息工程有限公司
• 主分類號: G01N21/359
• 分類號: G01N21/359;G01N21/01;G05B19/042
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責(zé)任公司 32218
• 代理人: 劉暢;夏平

1.一種低噪聲MEMS光干涉信號高速采集裝置，其特征在于該裝置包括模擬電路和數(shù)字電路：微機(jī)電系統(tǒng)MEMS發(fā)出樣品光和參考光，并分別通過光電探測器后接入模擬電路，模擬電路的輸出端連接數(shù)字電路，數(shù)字電路處理后將數(shù)據(jù)發(fā)送給光譜分析處理器；所述模擬電路對來自MEMS的樣品光和參考光干涉信號，以及對四象限光電探測器輸出的微反射鏡運(yùn)動位置信號進(jìn)行調(diào)理和采集；所述數(shù)字電路將干涉信號和微反射鏡運(yùn)動位置信號轉(zhuǎn)為數(shù)字信號，并發(fā)送至后端光譜分析處理器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低噪聲MEMS光干涉信號高速采集裝置，其特征在于所述模擬電路中，樣品光通過I-V轉(zhuǎn)換模塊后分別輸出至第一信號調(diào)理和采集模塊、下信號過壓檢測模塊；參考光通過I-V轉(zhuǎn)換模塊后分別輸出至第一信號調(diào)理和采集模塊、下信號過壓檢測模塊；四象限光電探測器輸出信號至第二信號調(diào)理和采集模塊；第一和第二信號調(diào)理和采集模塊通過磁耦隔離模塊連接數(shù)字電路，信號過壓檢測模塊通過光耦隔離模塊連接數(shù)字電路。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低噪聲MEMS光干涉信號高速采集裝置，其特征在于所述數(shù)字電路中，現(xiàn)場可編程門陣列FPGA接收模擬電路發(fā)送的信號，靜態(tài)隨機(jī)存取存儲器SRAM連接FPGA，F(xiàn)PGA同處理器ARM連接，ARM通過USB模塊連接光譜分析處理器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低噪聲MEMS光干涉信號高速采集裝置，其特征在于I-V轉(zhuǎn)換模塊采用低噪聲、低溫漂和寬頻帶的運(yùn)算放大器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低噪聲MEMS光干涉信號高速采集裝置，其特征在于第一信號調(diào)理和采集模塊采用差分放大電路以抑制共模噪聲。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低噪聲MEMS光干涉信號高速采集裝置，其特征在于第一信號調(diào)理和采集模塊采用帶通濾波器電路以減小高頻和工頻噪聲干擾。