[實(shí)用新型]晶圓測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720738272.0
• 申請日: 2017-06-22
• 公開（公告）號: CN206931563U
• 公開（公告）日: 2018-01-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳俊;熊強(qiáng);袁志偉
• 申請（專利權(quán)）人: 珠海市中芯集成電路有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 珠海智專專利商標(biāo)代理有限公司44262
• 代理人: 黃國豪

1.晶圓測試裝置，其特征在于，包括：

底板，所述底板上設(shè)有顯微鏡組件、晶圓放置臺以及探針固定臂；

所述顯微鏡組件包括顯微鏡，所述顯微鏡的物鏡朝向所述晶圓放置臺；

所述晶圓放置臺包括轉(zhuǎn)動(dòng)盤，所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述底板上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤內(nèi)設(shè)置有兩根絲桿，兩根所述絲桿的延伸方向相互垂直，所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤上可旋轉(zhuǎn)地設(shè)有放置盤，所述放置盤靠近所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤的一面設(shè)有凸起塊，所述絲桿與所述凸起塊鄰接，所述放置盤的端面設(shè)置有吸附槽，所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤及所述放置盤內(nèi)均貫穿有真空管，所述真空管與所述吸附槽連通，所述底板遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤的一面設(shè)置有連桿，所述連桿的第一端連接第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿連接所述底板，所述連桿的第二端鄰接所述真空管，所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤的兩側(cè)均設(shè)置有固定架，所述放置盤設(shè)置在所述固定架之間；

所述探針固定臂包括底座，所述底座上設(shè)有第一固定板，所述第一固定板上設(shè)有第一凸起塊，所述第一凸起塊的一側(cè)均設(shè)有Y軸滑軌，所述第一固定板連接有第一彈性件的第一端，所述第一彈性件的第二端連接第一滑動(dòng)塊，所述第一滑動(dòng)塊上設(shè)有第一滑軌，所述第一滑軌與所述Y軸滑軌鄰接，所述第一滑動(dòng)塊的一側(cè)設(shè)有第一軸承座，所述第一軸承座連接第一螺桿；

所述第一滑動(dòng)塊遠(yuǎn)離所述第一固定板的一面設(shè)有第二凸起塊，所述第二凸起塊的一側(cè)設(shè)有X軸滑軌，所述第一滑動(dòng)塊連接有第二彈性件的第一端，所述第二彈性件的第二端連接第二滑動(dòng)塊，所述第二滑動(dòng)塊上設(shè)有第二滑軌，所述第二滑軌與所述X軸滑軌鄰接，所述第二滑動(dòng)塊的一側(cè)設(shè)有第二軸承座，所述第二軸承座連接第二螺桿；

所述第二滑動(dòng)塊遠(yuǎn)離所述第一滑動(dòng)塊的一面設(shè)有呈“L”形的第二固定板，所述第二固定板與所述第二滑動(dòng)塊垂直，所述第二固定板的第一端設(shè)置有第三凸起塊，所述第三凸起塊的一側(cè)均設(shè)有Z軸滑軌，所述第三凸起塊連接有第三彈性件的第一端，所述第三彈性件的第二端連接第三滑動(dòng)塊，所述第三滑動(dòng)塊上設(shè)有第三滑軌，所述第三滑軌與所述Z軸滑軌鄰接，所述第二固定板的第一端還設(shè)有固定座，所述固定板內(nèi)連接有第三螺桿，所述第三螺桿朝向并鄰接所述第三滑動(dòng)塊，所述Y軸滑軌、所述X軸滑軌以及所述Z軸滑軌的延伸方向相互垂直；

所述第三滑動(dòng)塊上連接連接塊的第一端，所述連接塊的第二端連接轉(zhuǎn)動(dòng)件，所述連接塊上設(shè)置有通槽，所述通槽內(nèi)貫穿有第四螺桿，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件的第一端活動(dòng)連接夾持件，所述第四螺桿朝向并鄰接所述轉(zhuǎn)動(dòng)件的第二端；

所述夾持件朝向所述放置盤。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓測試裝置，其特征在于：

所述固定架遠(yuǎn)離所述放置盤的一側(cè)設(shè)有定位塊，所述固定架上設(shè)置有校正板，所述校正板的第一端與第二端均設(shè)有定位孔，所述定位塊貫穿所述定位孔，所述校正板的第一端與第二端之間設(shè)有校正部，所述校正部設(shè)置在所述固定架之間，所述校正部上設(shè)有開孔，所述開孔的中心與所述放置盤的中心共線設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓測試裝置，其特征在于：

所述顯微鏡朝向所述放置盤的一端設(shè)有透明蓋，所述透明蓋內(nèi)設(shè)有照明燈，所述照明燈連接電開關(guān)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓測試裝置，其特征在于：

所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤的兩側(cè)的所述固定架之間設(shè)置有間隙部，所述固定架上設(shè)置有呈“L”形的固定件，所述固定件的第一端固定在所述固定架上，所述固定件的第二端貫穿所述間隙部，所述固定件的第一端上設(shè)有旋緊件。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓測試裝置，其特征在于：

所述放置盤與所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤之間設(shè)置有第一轉(zhuǎn)動(dòng)圓環(huán)，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)圓環(huán)固定在所述放置盤上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤與所述底板之間設(shè)置有第二轉(zhuǎn)動(dòng)圓環(huán)，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)圓環(huán)固定在所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤上，所述真空管同時(shí)貫穿所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)圓環(huán)的內(nèi)環(huán)與所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)圓環(huán)的內(nèi)環(huán)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓測試裝置，其特征在于：

所述真空管靠近所述連桿的一端連接有第一放置圓環(huán)與第二放置圓環(huán)，所述真空管同時(shí)貫穿第一放置圓環(huán)的內(nèi)環(huán)與第二放置圓環(huán)的內(nèi)環(huán)，所述連桿的第二端放置在所述第一放置圓環(huán)與所述第二放置圓環(huán)之間。