[實用新型]連接驗證工具

有效

• 申請號: 201720734220.6
• 申請日: 2017-06-22
• 公開（公告）號: CN207050965U
• 公開（公告）日: 2018-02-27
• 發明（設計）人: 邁克爾·施萊克爾;約翰·利斯
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: G01M13/00
• 分類號: G01M13/00;G01M3/02
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司11287
• 代理人: 齊楊

技術領域

本實用新型大體來說涉及用于流體處理系統的配件，且更特定來說涉及用于驗證此類配件的連接的工具。

背景技術

用于半導體應用的流體處理系統必須滿足數個規范。其必須可與高度腐蝕性化學物質兼容，且其還必須能夠維持在所述流體系統內流動的化學品的高純度。流體處理系統中的各種流體處理組件之間的牢固連接對于避免流體處理系統中的泄漏是重要的。示范性流體處理組件可包含配件主體、螺母、蓋、插入件及驗證環。已認識到對于驗證流體處理組件之間的牢固連接的需要。

實用新型內容

本實用新型針對于用于流體處理系統的配件，且更特定來說針對于用于驗證此類配件的連接的工具。根據一些實施例，一種工具可包含測量儀部分，其包含第一臂、第二臂及橫梁部件，所述橫梁部件在所述第一臂與所述第二臂之間延伸且具有經定尺寸以對應于耦合到配件主體的配件部件的尺寸的寬度，使得當所述配件部件恰當地耦合到所述配件主體時，所述測量儀部分會配合于連接到第二配件部件的所述配件部件上方。

根據另一實施例，一種驗證連接的方法包含：至少部分地基于包含連接到配件主體的配件部件的配件的大小而選擇連接驗證工具，所述連接驗證工具包含測量儀部分，所述測量儀部分具有第一臂、第二臂及在所述第一臂與所述第二臂之間延伸的橫梁部件，其中在所述第一臂與所述第二臂之間界定間隙，所述間隙經定尺寸以對應于耦合到所述配件主體的所述配件部件的尺寸，使得當所述配件部件恰當地耦合到所述配件主體時，所述測量儀部分會配合于連接到第二配件部件的所述配件部件上方；將所述測量儀部分放置于連接到所述配件主體的所述配件部件上方；及當所述驗證工具的所述測量儀部分配合于連接到所述配件主體的所述配件部件上方時，驗證出所述配件部件是恰當地連接到所述配件主體。

提供前述實用新型內容以促進對本實用新型所特有的創新性特征中的一些的理解且其不打算為全面描述。對本實用新型的全面了解可通過將整個說明書、權利要求書、圖式及摘要視為整體而獲得。

附圖說明

在結合附圖考慮對各種說明性實施例的以下描述時可更完整地理解本實用新型。

圖1是根據本實用新型的一實施例的連接驗證工具及配件的透視圖。

圖2及3展示圖1的連接驗證工具與配件嚙合的不同視圖。

圖4是根據本實用新型的另一實施例的連接驗證工具的透視圖。

圖5是圖4的連接驗證工具及根據本實用新型的一實施例的配件的透視圖。

圖6是圖4及5的連接驗證工具與圖5的配件嚙合的透視圖。

圖7是根據本實用新型的另一實施例的連接驗證工具與配件嚙合的透視圖。

盡管本實用新型適合于各種修改及替代形式，但已在圖式中通過實例展示且將詳細地描述本實用新型的特定細節。然而，應理解，本實用新型并不將本實用新型的各方面限制于所描述的特定說明性實施例。相反，本實用新型將覆蓋歸屬于本實用新型的精神及范圍內的所有修改、等效形式及替代形式。

具體實施方式

除非內容另外清楚地指明，否則如本說明書及所附權利要求書中所使用，單數形式“一(a、an)”及“所述(the)”包含復數個指示物。除非內容另外清楚地指明，否則如本說明書及所附權利要求書中所使用，術語“或”通常是在其包含“及/或”的意義上采用。

術語“約”通常是指被視為等效于所敘述值(例如，具有相同功能或結果)的數值范圍。在許多例子中，術語“約”可包含四舍五入到最接近的有效數字的數值。

使用端點表達的數值范圍包含歸入在所述范圍內的所有數值(例如，1到5包含1、1.5、2、2.75、3、3.80、4及5)。

以下具體實施方式應參考圖式來閱讀，在圖式中將不同圖式中的類似元件編號為相同編號。具體實施方式及未必按比例的圖式描繪說明性實施例且并不打算限制本實用新型的范圍。所描繪的說明性實施例僅打算為示范性的。除非清楚地陳述為相反，否則任何說明性實施例的選定特征可并入到額外實施例中。

如本文中根據各種實施例所描述的連接驗證工具提供用于驗證流體處理系統內的各種流體處理組件之間的牢固連接的迅速且容易使用的機構。特定來說，如本文中所描述的連接驗證工具提供用于在兩個流體處理組件彼此的初始連接期間及/或之后驗證兩個流體處理組件之間的第二連接的迅速且容易使用的機構。在一些情形中，如本文中所描述的連接驗證工具可經定大小使得其可適合裝在用戶的口袋中，從而使其現成可用。