[實用新型]RH真空處理系統及其卷揚提升結構和真空室支承裝置

有效

• 申請號: 201720724143.6
• 申請日: 2017-06-21
• 公開（公告）號: CN207091463U
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發明（設計）人: 廖坤明;劉斌奇;張文;黃俊;張鐘蓓;許海虹
• 申請（專利權）人: 中冶南方工程技術有限公司
• 主分類號: C21C7/10
• 分類號: C21C7/10;B66F7/02;B66F7/28
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司11228
• 代理人: 程殿軍,張瑾

1.一種卷揚提升式RH真空處理系統的真空室支承裝置，包括升降框架，其特征在于：所述升降框架上設有多個旋轉支腿，所述旋轉支腿的數量與真空室上的真空室支座的數量相同且一一對應配置，每一所述旋轉支腿固連有帶動其伸至對應的所述真空室支座的升降通道上或偏離對應的所述真空室支座升降通道的傳動轉軸，各所述傳動轉軸均可轉動安裝于所述升降框架上且軸向均為豎向，每一所述傳動轉軸連接有用于驅動其繞自身軸線旋轉的驅動單元；每一所述傳動轉軸的頂部和底部分別連接有支承受力機構。

2.如權利要求1所述的卷揚提升式RH真空處理系統的真空室支承裝置，其特征在于：各所述傳動轉軸的底部均可轉動安裝于所述升降框架上，每一所述傳動轉軸的底部所連接的所述支承受力機構包括套裝于該傳動轉軸上的第一向心關節軸承和/或推力關節軸承，每一所述傳動轉軸的底部所連接的各關節軸承均固定于所述升降框架上。

3.如權利要求2所述的卷揚提升式RH真空處理系統的真空室支承裝置，其特征在于：每一所述傳動轉軸的底部所連接的所述支承受力機構包括第一向心關節軸承和推力關節軸承，所述第一向心關節軸承與所述推力關節軸承上下依次套裝于對應的所述傳動轉軸上。

4.如權利要求2或3所述的卷揚提升式RH真空處理系統的真空室支承裝置，其特征在于：于所述升降框架上穿設固定有多個支承筒，所述支承筒的數量與所述傳動轉軸的數量相同且一一對應配置，每一所述支承筒的頂部開設有沿豎向延伸的安裝盲孔，每一所述傳動轉軸的底部所連接的各關節軸承均安裝于對應的所述安裝盲孔內，每一所述傳動轉軸的底端承托于對應的所述安裝盲孔的孔底。

5.如權利要求1至3中任一項所述的卷揚提升式RH真空處理系統的真空室支承裝置，其特征在于：每一所述傳動轉軸的頂部可轉動安裝于一安裝支架上，各所述安裝支架均固定于所述升降框架上，每一所述傳動轉軸的頂部所連接的所述支承受力機構包括第二向心關節軸承，所述第二向心關節軸承套裝于對應的所述傳動轉軸上且固定于對應的所述安裝支架上。

6.如權利要求1所述的卷揚提升式RH真空處理系統的真空室支承裝置，其特征在于：所述驅動單元包括旋轉臂和驅動件，所述旋轉臂固連于對應的所述傳動轉軸上，所述驅動件具有一伸縮驅動軸，所述旋轉臂的軸向及所述伸縮驅動軸的軸向均為水平向，所述旋轉臂與所述伸縮驅動軸鉸接且鉸接軸軸向為豎向。

7.一種RH真空處理系統的卷揚提升結構，包括用于支承真空室的支承裝置及用于驅動所述支承裝置升降的卷揚裝置，其特征在于：所述支承裝置包括如權利要求1至6中任一項所述的卷揚提升式RH真空處理系統的真空室支承裝置，所述升降框架與所述卷揚裝置連接。

8.一種卷揚提升式RH真空處理系統，其特征在于：包括如權利要求7所述的RH真空處理系統的卷揚提升結構，真空室支承于各所述旋轉支腿上。