[實用新型]一種液晶顯示器光刻膠成膜的裝置

有效

• 申請號: 201720719308.0
• 申請日: 2017-06-20
• 公開（公告）號: CN206805038U
• 公開（公告）日: 2017-12-26
• 發明（設計）人: 王永
• 申請（專利權）人: 南京信息職業技術學院
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司32112
• 代理人: 王晶

技術領域

本實用新型屬于液晶顯示器制造技術領域，具體涉及一種液晶顯示器制造光刻工藝過程中的光刻膠成膜裝置及方法。

背景技術

近些年液晶顯示器件快速發展，在液晶顯示器件制造工藝過程中，需要在多個工序中多次使用光刻工藝制造器件圖形，光刻工藝主要包含光刻膠成膜、前烘烤、曝光、顯影、堅膜、蝕刻、去膜、圖檢和清洗干燥等一系列過程。

目前液晶顯示面板光刻膠成膜，主要采用轉印輪進行輥涂的方法，該方法適合較大面積玻璃基板，連續性較好，生產效率較高，但是對于單次成膜操作，輥涂法存在操作復雜、玻璃基板尺寸固定、光刻膠用量較大、成本高以及光刻膠成膜不具備選擇性等問題。除了企業需要連續性重復性生產過程，在各類液晶顯示器件工藝性能研究、實驗或者教學演示過程中，要求是光刻膠成膜過程具備間歇性、操作彈性大、參數變化較大等特點。

實用新型內容

有鑒于此，本專利提供一種液晶顯示器件間歇式光刻膠成膜的新裝置及方法，具備設備操作簡單、膜層圖形具備選擇性、光刻膠用量少和基板尺寸可調等優點。

為了實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種液晶顯示器光刻膠成膜的裝置，包括載物平臺，所述載物平臺的一側設有導軌支架，所述導軌支架上安裝有上下兩根平行于載物平臺的導軌，所述兩根導軌均連接有移動板，安裝在上導軌上的移動板為第一移動板，安裝在下導軌上的移動板為第二移動板，所述第一移動板的前端連接有移膠裝置，所述第二移動板的前端連接有滾膠裝置；所述載物平臺上設有光刻膠槽和玻璃基板固定裝置，所述光刻膠槽內裝有成膜母版，所述玻璃基板固定裝置上固定有玻璃基板。

進一步的，所述移膠裝置由銷釘、彈簧和凸面移膠頭組成，所述銷釘穿過第一移動板，銷釘位于移動板上方的部分穿過彈簧，銷釘的下方連接凸面移膠頭。按壓銷釘的頂部，凸面移膠頭下降，松開銷釘，凸面移膠頭返回原來的位置。

進一步的，所述滾膠裝置由滾輪和刮板組成并安裝在同一底板上，滾輪和刮板從一側移到另一側，滾輪將光刻膠液從滾輪轉移至成膜母版，刮板隨后從成膜母版表面刮過，去除多余的光刻膠液。

進一步的，所述滾輪和刮板的材質均為橡膠，所述滾輪的表面為密集螺紋狀，橡膠材質且帶有螺紋的滾輪，可較好吸附光刻膠液。

進一步的，所述滾輪與底板的之間采用彈簧活頁連接。彈簧活頁具體由活頁、彈簧和連接銷構成，使滾輪具有彈性作用，這樣滾輪可與成膜母版緊密接觸。

進一步的，所述成膜母版由成矩陣排列的圓柱體和圓柱體之間的空隙組成，所述圓柱體的半徑為0.5mm，高0.2mm，圓柱體之間的間距為1.2mm。相鄰圓柱體之間的空隙供光刻膠液儲存，膠液在凹槽內流動相較好，圓柱體的排列結構可保證橡膠刮板刮過光刻膠液分布的均勻性，同時也易于通過凸面移膠頭轉移形成均勻的膜層。

本實用新型還提供一種液晶顯示器光刻膠成膜的方法，包括如下幾個步驟：

1）將設計好的成膜母版放置于光刻膠槽中并固定成膜母版的位置；

2）將第二移動板移動至成膜母版的一側，在光刻膠槽內倒入光刻膠膠液；

3）第二移動板前端的滾膠裝置與光刻膠膠液充分接觸后從成膜母版的一側滾到另一側；

4）將需要成膜的玻璃基板固定在基板固定位置上，調節移膠裝置定位于成膜母版的上方，啟動移膠裝置將成膜母版上的光刻膠液吸附到移膠裝置上；

5）將移膠裝置移動到玻璃基板的上方，移膠裝置將光刻膠液轉移到玻璃基板表面；

6）從基板固定裝置上取下帶有光刻膠液膜層的玻璃基板，送至烘箱中60-80℃烘干流平30min，即形成固態光刻膠膜層。

有益效果：與現有技術相比，本實用新型提供了一種液晶顯示器件光刻膠成膜的裝置及方法，首先通過滾膠裝置在成膜母版中形成光刻膠膜層；然后利用移膠裝置將成膜母版中光刻膠轉移至玻璃基板表面；最后通過烘干形成固態光刻膠膜層。本實用新型設備簡單，可完成間歇式光刻膠成膜過程，過程操作容易、單次光刻膠用量較少，通過光刻膠成膜母版的置換，可適應多種尺寸的玻璃基板和成膜圖形，光刻膠成膜具備選擇性。

附圖說明

圖1是本實用新型的整體結構示意圖。

圖2是本實用新型的滾輪結構示意圖。

圖3是本實用新型成膜母版結構示意圖。

具體實施方式

為了加深對本實用新型的理解，下面將結合實施例和附圖對本實用新型作進一步詳述，該實施例僅用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型保護范圍的限定。

實施例1