[實用新型]多方向的壓電超聲發(fā)生器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720717543.4 | 申請日： | 2017-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN206838453U | 公開（公告）日： | 2018-01-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王德波;辛濟昊;白雪婧 | 申請（專利權(quán)）人： | 南京郵電大學(xué) |
| 主分類號： | B06B1/06 | 分類號： | B06B1/06;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司32200 | 代理人： | 劉莎 |
| 地址： | 210023 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多方 壓電 超聲 發(fā)生器 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.多方向的壓電超聲發(fā)生器，其特征在于，該壓電超聲發(fā)生器以硅為襯底，在硅襯底上設(shè)有三角形橋墩，在所述三角形橋墩的三個側(cè)面分別設(shè)有一個MEMS懸臂梁；每個所述MEMS懸臂梁的一端固定在三角形橋墩上，另一端為自由端；每個所述MEMS懸臂梁的下方的硅襯底上分別設(shè)有一個MEMS懸臂梁下拉電極；每個MEMS懸臂梁下拉電極上設(shè)有壓電材料層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多方向的壓電超聲發(fā)生器，其特征在于，相鄰兩個所述MEMS懸臂梁之間呈120°角。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多方向的壓電超聲發(fā)生器，其特征在于，所述壓電材料為ZnO。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多方向的壓電超聲發(fā)生器，其特征在于，所述硅襯底為高阻硅SOI襯底。
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