[實用新型]一種用于EBSD測試的裝置

有效

• 申請號: 201720712386.8
• 申請日: 2017-06-19
• 公開（公告）號: CN206804563U
• 公開（公告）日: 2017-12-26
• 發明（設計）人: 尹存宏;沈明明;聶華偉;吳新淼;史忠震
• 申請（專利權）人: 貴州交通職業技術學院
• 主分類號: G01N23/203
• 分類號: G01N23/203
• 代理公司: 貴陽派騰陽光知識產權代理事務所(普通合伙)52110
• 代理人: 谷慶紅

技術領域

本實用新型涉及EBSD測試工藝裝備領域，尤其涉及一種用于EBSD 測試的裝置。

背景技術

目前，在對鋼鐵材料的電子顯微鏡分析與研究中，電子背散射花樣晶體微區取向與晶體結構的分析技術，簡稱為EBSD技術，應用日益廣泛，EBSD技術的主要特點是在保留掃描電子顯微鏡的常規特點的同時進行空間分辨率亞微米級的衍射，并給出給出結晶學的數據，根據電子背散射理論，在掃描電鏡中進行EBSD測量時，樣品法向必須與入射電子束成70度的角度，所以就要求掃描電鏡樣品臺必須進行高度傾斜，同時還要保證樣品不會在樣品臺上產生滑移，這樣直接用掃描電鏡樣品臺進行EBSD測量時，樣品再樣品臺上的固定和樣品臺的傾轉造成了EBSD測量前期準備的極大不便。同時，如果樣品固定不牢固，還會造成測量時圖像的漂移，從而影響測量的精確性，現有技術中，一般將樣品通過膠布粘接固定到支承臺面上，但是這種方法，樣品往往不能粘貼牢固，容易脫落，并且使用樣品表面容易被膠布污染而難以清理干凈，影響了EBSD測量的精度。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種用于EBSD測試的裝置。

本實用新型提供了一種用于EBSD測試的裝置，包括底座、支承柱和載物臺，所述底座的一側設有與顯微鏡相配的鑲臺，所述底座的另一側與所述支承柱的一端連接，所述支承柱的另一端設有承載面，所述載物臺底面與所述承載面連接，所述載物臺設有載物槽，所述載物槽的兩側分別設有夾持裝置。

所述載物槽的下方還設有承接面。

所述夾持裝置包括螺釘A和螺釘B，螺釘A和螺釘B分別通過螺紋與所述載物槽的兩側連接。

所述螺釘A與所述螺釘B的中心軸線重合。

所述載物臺的底面設有支承桿，所述承載面上設有通孔，支承桿套合于通孔內。

所述支承柱端面設有螺孔A和螺釘C，螺孔A與所述通孔相交，螺釘C旋合在螺孔A內，螺釘C的端面將所述支承桿壓緊。

所述支承桿上設有承壓面。

所述承壓面與所述支承桿的中心軸線重合。

所述支承柱的材質是銅或銅合金。

所述底座是圓柱形，所述底座的端面設有若干個螺紋孔B，該螺紋孔B與所述鑲臺連接，所述支承柱的下端設有螺桿，螺桿旋合在螺紋孔B內。

本實用新型的有益效果在于：

采用本實用新型所提供的用于EBSD測試的裝置，包括底座、支承柱和載物臺，所述底座的一側設有與顯微鏡相配的鑲臺，所述底座的另一側與所述支承柱的一端連接，所述支承柱的另一端設有承載面，所述載物臺底面與所述承載面連接，所述載物臺設有載物槽，所述載物槽的兩側分別設有螺釘A和螺釘B；使用本實用新型提供的技術方案，只需將樣品放入載物槽內，使用載物槽兩側面的螺栓對樣品進行緊固即可，進一步地，載物槽內還設有承接面，使樣品固定可靠，避免了樣品掉落，克服了傳統膠粘方法難以控制樣品水平度及垂直度的問題，也避免了膠布上的粘膠污染樣品外表面，使樣品可以重復利用，樣品固定可靠，減少了EBSD測試所需耗費的時間，提高了EBSD測試效率。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是本實用新型的左視圖；

圖3是本實用新型支承柱的結構示意圖；

圖4是本實用新型載物臺的俯視圖；

圖5是本實用新型載物臺的左視圖。

圖中：1-底座，2-支承柱，3-載物臺，4-鑲臺，5-螺釘A，6-螺釘B，7-螺釘C，11-螺紋孔B，21-承載面，24-通孔，25-螺孔A，26- 螺桿，31-載物槽，32-承接面，33-支承桿，34-承壓面。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的技術方案作進一步說明，但所要求的保護范圍并不局限于所述；

本實用新型提供了一種用于EBSD測試的裝置，如圖1、圖2所示，包括底座1、支承柱2和載物臺3，底座1的一側設有與顯微鏡相配的鑲臺4，底座1的另一側與支承柱2的一端連接，支承柱2的另一端設有承載面21，載物臺3底面與承載面21連接，載物臺3設有載物槽31，載物槽31的兩側分別設有夾持裝置。使用本實用新型提供的技術方案，只需將樣品放入載物槽內，使用載物槽兩側面的夾持裝置對樣品進行緊固即可，使樣品固定可靠，克服了傳統膠粘方法難以控制樣品水平度及垂直度的問題，也避免了膠布上的粘膠污染樣品外表面，使樣品可以重復利用，樣品固定可靠，減少了EBSD測試所需耗費的時間，提高了EBSD測試效率。