[實用新型]一種太陽能電池制程金屬離子污染檢測裝置

有效

• 申請號: 201720711739.2
• 申請日: 2017-06-19
• 公開（公告）號: CN206976289U
• 公開（公告）日: 2018-02-06
• 發明（設計）人: 黃紀德;金井升;張昕宇;金浩
• 申請（專利權）人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 李海建

1.一種太陽能電池制程金屬離子污染檢測裝置，其特征在于，包括：

反應容器(1)，所述反應容器(1)設置有HF酸進氣口和廢氣排放口，且所述反應容器(1)內設置有用于安放待檢測電池片(4)的安裝部；

HF酸蒸氣供應總成(2)，所述HF酸蒸氣供應總成(2)的HF酸排出口與所述反應容器的HF酸進氣口相連。

2.根據權利要求1所述的太陽能電池制程金屬離子污染檢測裝置，其特征在于，還包括用于防止所述HF酸蒸氣倒流的單向閥(3)，所述單向閥(3)設置在所述HF酸蒸氣供應總成的HF酸排出口與所述反應容器的HF酸進氣口之間。

3.根據權利要求1所述的太陽能電池制程金屬離子污染檢測裝置，其特征在于，所述反應容器包括容器本體(11)和密封蓋(12)，所述容器本體(11)的頂部開放形成電池片入口，所述密封蓋(12)用于密封所述電池片入口。

4.根據權利要求3所述的太陽能電池制程金屬離子污染檢測裝置，其特征在于，所述安裝部為設置在所述容器本體底部的夾具(15)，所述夾具(15)能夠夾住所述待檢測電池片(4)邊緣并使所述待檢測電池片(4)在所述容器本體(11)內豎直放置。

5.根據權利要求1所述的太陽能電池制程金屬離子污染檢測裝置，其特征在于，所述HF酸蒸氣供應總成(2)包括蒸發容器(22)和設置在所述蒸發容器(22)底部的加熱件(21)，所述HF酸排出口設置在所述蒸發容器(22)的頂部。

6.根據權利要求5所述的太陽能電池制程金屬離子污染檢測裝置，其特征在于，還包括用于輸送動力氣體，以便攜帶所述HF酸蒸氣進入所述反應容器(1)內的動力氣體管路(23)，所述動力氣體管路(23)一端連接于所述蒸發容器(22)的側壁上部，另一端用于與氣源相連。

7.根據權利要求6所述的太陽能電池制程金屬離子污染檢測裝置，其特征在于，還包括并聯于所述動力氣體管路(23)上的吹掃管路(13)，所述吹掃管路(13)與所述反應容器(1)連通。

8.根據權利要求5所述的太陽能電池制程金屬離子污染檢測裝置，其特征在于，還包括與所述蒸發容器(22)相連的HF酸液體添加管路(24)，和設置在所述蒸發容器(22)底部的酸液排放管路(25)。