[實用新型]真空爐測溫裝置

有效

• 申請號: 201720711522.1
• 申請日: 2017-06-19
• 公開（公告）號: CN206876304U
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發明（設計）人: 宋德鵬
• 申請（專利權）人: 濟南力冠電子科技有限公司
• 主分類號: G01K7/02
• 分類號: G01K7/02;G01K1/12;G01K1/14
• 代理公司: 山東眾成清泰律師事務所37257
• 代理人: 丁修亭

技術領域

本實用新型涉及一種真空爐測溫裝置，具體是以熱電偶為測溫元件的真空爐測溫裝置。

背景技術

熱電偶是真空爐主要的測溫元件之一，其所測最高溫度一般低于1800℃，若真空爐內溫度高于這個溫度，會使熱電偶損壞或者壽命折損。

一般而言，真空爐上會配置多個測點，多個測點的測溫元件可以采用相同的測溫元件，例如都采用熱電偶，也可以采用不同的測溫元件，例如某些測點采用熱電偶進行測溫，某些測點采用紅外測溫元件。其中紅外測溫屬于非接觸式測溫元件，從而可以測量更高的溫度，但在更高的溫度條件下，需要保證低溫測溫元件不受損傷，因此需要對低溫測溫元件進行保護。

目前，熱電偶在真空爐上主要有兩種裝配方式，一種是熱電偶固定安裝在給定的測點，適用于所測最高溫度低于熱電偶測量范圍高限的應用中；另一種則是通過滑動氣密封結構將熱電偶安裝在給定測點，滑動方向為熱電偶的軸向，當被測溫度高于熱電偶測量范圍高限時，熱電偶退出。但滑動密封不同于靜密封，其密封能力有限，尤其是在較高的溫度條件下，密封性能較好的動密封結構普遍不能使用，例如橡膠等密封元件，其適用范圍一般都低于160℃，即便是高溫橡膠密封元件，其最高適用范圍也低于380℃。

中國專利文獻CN103913248A即公開了一種熱電偶的安裝方式，其安裝方式屬于固定安裝方式，氣密封僅靠一個密封圈進行密封，即便是靜密封，也不太容易能夠保證密封能力，并且固定設置的熱電偶并不能適應多種測溫元件條件下的高溫區時段對低溫測溫元件的保護問題。

中國專利文獻CN105222914A提出了熱電偶頻繁拔插所產生的測試工裝的密封性變差的問題，也對CN103913248A進行說論述，其改變主要體現在變熱電偶與密封結構的配合為熱電偶引線與密封固定結構的配合，但這并不能從根本上改變熱電偶需要在高溫時段退出的問題。

中國專利文獻CN203772042U則公開了一種可拔插的測溫裝置，其將熱電偶與氣缸整體設計，通過氣缸實現熱電偶的拔插操作，但熱電偶在可動的條件下，該專利文獻所提供的密封結構是熱電偶通過護套安裝在接管內，用以實現動密封的結構是護套與接管的滑動配合，難以保證密封性能。

實用新型內容

有鑒于此，在熱電偶可動的條件下，本實用新型變動密封為靜密封，從而提供一種密封性能比較好的真空爐測溫裝置。

依據本實用新型的實施例，提供一種真空爐測溫裝置，應用于具有真空腔室的真空爐，其中，在真空腔室內設有保溫室，并且保溫室與真空腔室的內壁面間留有給定距離，在保溫室給定的位置開有過孔，真空腔室對位于過孔的壁開有安裝孔；所述真空爐測溫裝置包括：

安裝座，固定安裝在真空腔室上，并具有與安裝孔對位的中心孔；

支架，固定安裝在安裝座上，并在過孔的軸向遠離真空腔室懸伸；

直線驅動機構，安裝在支架的懸伸端，且該直線驅動機構的驅動端與過孔相對；

波紋管，該波紋管的一端通過第一靜密封結構固定安裝在安裝座上，另一端通過第二靜密封結構固定安裝在所述驅動端；以及

熱電偶，該熱電偶的座端通過所述第二靜密封結構裝配在所述驅動端，該熱電偶的本體則在過孔、安裝孔以及中心孔所確定的方向上被直線驅動機構驅動而具有工作行程。

上述真空爐測溫裝置，可選地，所述過孔位于保溫室的側面。

可選地，所述過孔有一對，并且相應的兩過孔在上下方向排列；

相應的兩熱電偶共用一直線驅動機構。

可選地，所述直線驅動機構包括：

推板，為上下的條板，上端用于與位于上面的熱電偶的座端連接，下端用于與位于下面的熱電偶的座端連接；

輸出構件，安裝在推板上下方向的中間；以及

原動部分，用于驅動輸出構件作直線運動。

可選地，所述直線驅動機構為配有所述輸出構件的氣缸，該輸出構件為氣缸的推桿。

可選地，還包括平行于直線驅動機構驅動方向的導引組件。

可選地，所述支架為龍門架，從而該支架具有：

邊框，匹配兩安裝孔而各設有一個；

楣框，安裝在邊框懸伸的末端；

相應地，所述導引組件包括：

導套，固定安裝在楣框上，導套的軸線平行于過孔軸線；

導桿，導引于所述導套，該導桿則固定安裝在推板上。

可選地，一邊框背離于另一邊框的側面設有加強板。

可選地，第一靜密封結構和第二靜密封結構為法蘭配合密封件的裝配結構。

可選地，第二靜密封結構配置為：