[實用新型]一種壓電麥克風

有效

• 申請號: 201720709860.1
• 申請日: 2017-06-16
• 公開（公告）號: CN206948611U
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發明（設計）人: 邱冠勳
• 申請（專利權）人: 歌爾科技有限公司
• 主分類號: H04R17/02
• 分類號: H04R17/02
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙)11442
• 代理人: 王昭智,馬佑平

技術領域

本實用新型涉及麥克風領域，更具體地，涉及一種壓電麥克風。

背景技術

MEMS麥克風現已應用普及在消費性電子產品中。隨著科技的進步，壓電式硅麥克風逐漸開始發展起來。但是壓電麥克風與電容器麥克風相比，影響其普及應用的最大缺點在于壓電麥克風的靈敏度太低。也就是說壓電膜感應音頻信號的能力遠低于電容式麥克風中振膜的能力。為了提升壓電式麥克風的靈敏度，大多數廠商皆采用在壓電膜上設置狹槽，但這種狹槽的設計使得低頻信號甚至中頻信號的泄漏非常嚴重；產品性能與理論數據有很大的差距，無法達成預期性能。

實用新型內容

本實用新型的一個目的是提供了一種壓電麥克風。

根據本實用新型的一個方面，提供一種壓電麥克風，包括具有背腔的襯底，以及通過絕緣層連接在襯底上方的壓電膜；所述壓電膜上設置有至少一條貫穿其上下兩端的狹槽；還包括位于背腔中且連接在所述襯底上的阻擋部，所述阻擋部位于狹槽的下方，且沿著狹槽的走向進行延伸；所述阻擋部與壓電膜的狹槽之間具有間隙。

可選地，所述阻擋部與襯底采用相同的材料，二者一體成型。

可選地，所述狹槽至少設置有兩條，其中至少一條狹槽位于壓電膜的中心區域，至少一條狹槽位于壓電膜的邊緣區域；位于壓電膜中心區域的狹槽與阻擋部配合在一起，且二者之間具有間隙；位于壓電膜的邊緣區域的狹槽與襯底重疊在一起，且二者之間形成間隙。

可選地，所述狹槽設置有三條，分別記為位于壓電膜相對兩側邊緣位置的第一狹槽、第二狹槽，以及位于壓電膜中心區域并連通所述第一狹槽、第二狹槽的第三狹槽；所述第一狹槽、第二狹槽、第三狹槽呈工字形。

可選地，所述狹槽呈矩形、圓形、X形、Y形、十字形或米字形。

可選地，所述阻擋部的下端面與襯底的下端面齊平。

可選地，所述阻擋部的下端面高于所述襯底的下端面。

可選地，所述壓電膜依次包括復合在一起的第一電極層、壓電材料中間層、第二電極層。

可選地，所述第一電極層、壓電材料中間層、第二電極層通過沉積的方式復合在一起。

可選地，所述壓電麥克風為MEMS壓電麥克風。

本實用新型壓電麥克風，在狹槽的下方設置阻擋部，所述阻擋部可以阻礙聲音直接通過狹槽傳出，從而可以大大降低該壓電麥克風低頻信號、中頻信號的泄漏量，提高了壓電麥克風的性能。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述，本實用新型的其它特征及其優點將會變得清楚。

附圖說明

構成說明書的一部分的附圖描述了本實用新型的實施例，并且連同說明書一起用于解釋本實用新型的原理。

圖1是本實用新型壓電膜的俯視圖。

圖2是本實用新型襯底的俯視圖。

圖3是本實用新型壓電麥克風沿圖1中A-A位置的剖面圖。

圖4是本實用新型壓電麥克風另一實施結構的剖面圖。

圖5是本實用新型壓電麥克風沿圖1中B-B位置的剖面圖。

圖6是本實用新型壓電膜另一實施結構的示意圖。

具體實施方式

現在將參照附圖來詳細描述本實用新型的各種示例性實施例。應注意到：除非另外具體說明，否則在這些實施例中闡述的部件和步驟的相對布置、數字表達式和數值不限制本實用新型的范圍。

以下對至少一個示例性實施例的描述實際上僅僅是說明性的，決不作為對本實用新型及其應用或使用的任何限制。

對于相關領域普通技術人員已知的技術和設備可能不作詳細討論，但在適當情況下，所述技術和設備應當被視為說明書的一部分。

在這里示出和討論的所有例子中，任何具體值應被解釋為僅僅是示例性的，而不是作為限制。因此，示例性實施例的其它例子可以具有不同的值。

應注意到：相似的標號和字母在下面的附圖中表示類似項，因此，一旦某一項在一個附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對其進行進一步討論。

參考圖1至圖3，本實用新型提供了一種壓電麥克風，其可以是MEMS壓電麥克風，包括襯底1，以及通過絕緣層2連接在襯底1上方的壓電膜。襯底1的中部區域形成有背腔，所述壓電膜的邊緣通過絕緣層2支撐在襯底1的上方，從而保證壓電膜與襯底1之間的絕緣，并使壓電膜除邊緣連接位置的其它區域懸置在襯底1、背腔的上方。