[實(shí)用新型]一種可消除雜質(zhì)的雙離子束加速器裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720709156.6 | 申請日： | 2017-06-19 |
| 公開（公告）號： | CN206908934U | 公開（公告）日： | 2018-01-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 唐兵;陳立華;崔保群;朱升云;馬瑞剛;馬鷹俊;黃青華;馬燮;蔣渭生 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國原子能科學(xué)研究院 |
| 主分類號： | H05H7/06 | 分類號： | H05H7/06;H05H9/00;H05H7/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 102413 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 消除 雜質(zhì) 離子束 加速器 裝置 | ||
1.一種可消除雜質(zhì)的雙離子束加速器裝置，其特征在于，該裝置包括進(jìn)氣系統(tǒng)(1)、離子源(6)、束流傳輸元件和靶(13)；
束流傳輸元件包括雜質(zhì)消除系統(tǒng)(2)和后端束流傳輸元件(12)，雜質(zhì)消除系統(tǒng)(2)由第一質(zhì)量分析器(7)、雙孔選束光闌(8)、聚焦透鏡(10)和第二質(zhì)量分析器(11)組成，其中第一質(zhì)量分析器(7)和第二質(zhì)量分析器(11)結(jié)構(gòu)相同，電場、磁場設(shè)置方向相反；
進(jìn)氣系統(tǒng)(1)、離子源(6)、第一質(zhì)量分析器(7)、雙孔選束光闌(8)、聚焦透鏡(10)、第二質(zhì)量分析器(11)、后端束流傳輸元件(12)和靶(13)分別按離子束傳輸方向順序設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可消除雜質(zhì)的雙離子束加速器裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣系統(tǒng)由氣瓶(3)、氣管(4)和氣體質(zhì)量流量計(jì)(5)連接組成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可消除雜質(zhì)的雙離子束加速器裝置，其特征在于，所述后端束流傳輸元件(12)全部為電元件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可消除雜質(zhì)的雙離子束加速器裝置，其特征在于，所述雙孔選束光闌(8)和聚焦透鏡(10)之間設(shè)置有可移動(dòng)單孔選束光闌(9)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可消除雜質(zhì)的雙離子束加速器裝置，其特征在于，所述質(zhì)量分析器為二極分析磁鐵。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可消除雜質(zhì)的雙離子束加速器裝置，其特征在于，所述質(zhì)量分析器為速度選擇器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可消除雜質(zhì)的雙離子束加速器裝置，其特征在于，所述聚焦透鏡(10)為左右對稱的聚焦透鏡(10)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可消除雜質(zhì)的雙離子束加速器裝置，其特征在于，所述聚焦透鏡(10)為左右對稱的透鏡組。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可消除雜質(zhì)的雙離子束加速器裝置，其特征在于，所述聚焦透鏡(10)為三圓筒靜電單透鏡。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可消除雜質(zhì)的雙離子束加速器裝置，其特征在于，所述聚焦透鏡(10)為三單元四極透鏡組。
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