[實用新型]用于真空腔結(jié)構(gòu)的吸液芯及真空腔結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720703074.0
• 申請日: 2017-06-16
• 公開（公告）號: CN206930205U
• 公開（公告）日: 2018-01-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 于全耀;李柏霖;王治平
• 申請（專利權(quán)）人: 中達電子零組件(吳江)有限公司
• 主分類號: F28D15/04
• 分類號: F28D15/04
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11006
• 代理人: 王玉雙,李巖

1.一種用于真空腔結(jié)構(gòu)的吸液芯，所述真空腔結(jié)構(gòu)包含基板，其特征在于，通過軟模板結(jié)合電化學沉積方式在所述基板的表面形成薄膜狀的所述吸液芯，所述吸液芯具有多個第一孔洞，所述多個第一孔洞的孔徑沿第一方向逐漸增大。

2.如權(quán)利要求1所述的吸液芯，其特征在于，所述多個第一孔洞的孔徑的大小為1μm-1cm。

3.如權(quán)利要求1所述的吸液芯，其特征在于，所述吸液芯的厚度為10μm-50mm。

4.如權(quán)利要求1所述的吸液芯，其特征在于，任意相鄰的兩個所述第一孔洞之間具有孔壁，所述孔壁的厚度沿所述第一方向逐漸增大。

5.如權(quán)利要求4所述的吸液芯，其特征在于，所述孔壁的材質(zhì)為銅、鐵、鎳、鋅、鈦及錫金屬材質(zhì)的其中一種或其合金或任意組合。

6.如權(quán)利要求4所述的吸液芯，其特征在于，所述孔壁的厚度的大小為1μm-1cm。

7.如權(quán)利要求4所述的吸液芯，其特征在于，所述孔壁包含多個第二孔洞，每一所述第二孔洞的孔徑小于每一所述第一孔洞的孔徑。

8.一種真空腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，包含：

基板；

蓋板，所述基板和所述蓋板相互密合且形成容置空間；

吸液芯，通過軟模板結(jié)合電化學沉積方式在所述基板或所述蓋板的內(nèi)表面形成薄膜狀的所述吸液芯，所述吸液芯具有多個第一孔洞，所述多個第一孔洞的孔徑沿第一方向逐漸增大；以及

工質(zhì)，填充于所述多個第一孔洞內(nèi)。

9.如權(quán)利要求8所述的真空腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多個第一孔洞的孔徑的大小為1μm-1cm。

10.如權(quán)利要求8所述的真空腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述吸液芯的厚度為10μm-50mm。

11.如權(quán)利要求8所述的真空腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，任意相鄰的兩個所述第一孔洞之間具有孔壁，所述孔壁的厚度沿所述第一方向逐漸增大。

12.如權(quán)利要求11所述的真空腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述孔壁的材質(zhì)為銅、鐵、鎳、鋅、鈦及錫金屬材質(zhì)的其中一種或其合金或任意組合。

13.如權(quán)利要求11所述的真空腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述孔壁的厚度的大小為1μm-1cm。

14.如權(quán)利要求11所述的真空腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述孔壁包含多個第二孔洞，每一所述第二孔洞的孔徑小于每一所述第一孔洞的孔徑，所述工質(zhì)還填充于所述多個第二孔洞內(nèi)。

15.如權(quán)利要求8所述的真空腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述工質(zhì)為液態(tài)工質(zhì)。

16.如權(quán)利要求8所述的真空腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述工質(zhì)為超純水、甲醇、乙醇、丙酮、苯、氨水的其中一種或任意組合。

17.如權(quán)利要求8所述的真空腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述蓋板和所述基板的材質(zhì)相同。

18.如權(quán)利要求8所述的真空腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述蓋板和所述基板的材質(zhì)不相同。

19.如權(quán)利要求8所述的真空腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述蓋板的材質(zhì)包含至少一種金屬材料。

20.如權(quán)利要求8所述的真空腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述基板的材質(zhì)包含至少一種金屬材料。