[實用新型]晶體硅太陽能電池的退火裝置

有效

• 申請號: 201720702484.3
• 申請日: 2017-06-16
• 公開（公告）號: CN207116458U
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 姚錚;吳堅;侯利平;王栩生;蔣方丹;邢國強
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 胡彬

1.晶體硅太陽能電池的退火裝置，其特征在于，包括：

腔體(1)，所述腔體(1)與外部的真空裝置及惰性氣體裝置連接，以提供真空及惰性氣體環境；及

置于所述腔體(1)內部的注入機構(10)，所述注入機構(10)包括上下設置的上平臺(7)、下平臺(8)及支撐于兩者之間的導軌(9)，所述上平臺(7)和所述下平臺(8)中至少有一個能夠沿著所述導軌(9)滑動，以調整兩者之間的間距，

所述上平臺(7)和所述下平臺(8)的相對的表面均設置有冷卻平臺(3)，所述冷卻平臺(3)的表面設置有能夠與其分離以絕熱或閉合以傳熱的加熱電極(2)，所述冷卻平臺(3)與所述加熱電極(2)之間設置有絕緣墊層(4)，所述加熱電極(2)連接外部電源(11)，

所述真空裝置及惰性氣體裝置、所述冷卻平臺(3)連接控制系統。

2.根據權利要求1所述的退火裝置，其特征在于，所述上平臺(7)和所述下平臺(8)中的能夠沿著所述導軌(9)滑動的平臺連接有第一傳動裝置(5)，以驅動該平臺滑動。

3.根據權利要求2所述的退火裝置，其特征在于，所述上平臺(7)和所述下平臺(8)均連接有第二傳動裝置(6)，所述第二傳動裝置(6)能夠使得所述冷卻平臺(3)和所述加熱電極(2)分離或閉合；

所述第二傳動裝置(6)為間隔氣閥。

4.根據權利要求3所述的退火裝置，其特征在于，所述第一傳動裝置(5)和所述第二傳動裝置(6)均為能夠實現壓力設定的行程氣缸或液壓系統，所述第一傳動裝置(5)和所述第二傳動裝置(6)均與所述控制系統連接。

5.根據權利要求1-4任一項所述的退火裝置，其特征在于，所述電源(11)輸出的是恒定直流電壓，該電壓的調節范圍為0-1000V；或

所述電源(11)輸出的是恒定直流電流，該電流的調節范圍是0-20A。

6.根據權利要求1-4任一項所述的退火裝置，其特征在于，所述加熱電極(2)的內部設置有加熱單元和用于溫度反饋的測溫單元，

所述加熱單元為電阻絲或加熱陶瓷，所述加熱電極(2)為不銹鋼、銅或鋁材質的電極，所述加熱電極(2)的加熱溫度范圍為室溫-450℃；

所述測溫單元為K、S、E或B型熱電偶，所述加熱單元、所述測溫單元連接所述控制系統。

7.根據權利要求1-4任一項所述的退火裝置，其特征在于，所述冷卻平臺(3)的內部設置有冷卻管道，所述冷卻管道內部有循環流動的冷卻介質，用以持續散熱；

所述冷卻介質為空氣、水或油。

8.根據權利要求1-4任一項所述的退火裝置，其特征在于，所述絕緣墊層(4)為熱導率高且絕緣的墊層，所述絕緣墊層(4)為絕緣陶瓷。

9.根據權利要求1-4任一項所述的退火裝置，其特征在于，所述惰性氣體為氮氣、氬氣或氦氣。

10.根據權利要求1-4任一項所述的退火裝置，其特征在于，所述注入機構(10)為至少兩個，至少兩個所述注入機構(10)串聯連接。