[實(shí)用新型]鍍膜治具及鍍膜設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720701919.2
• 申請(qǐng)日: 2017-06-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206940978U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐崢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南陽(yáng)凱鑫光電股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/50
• 分類號(hào): C23C14/50;C23C14/24;C23C14/34
• 代理公司: 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11371
• 代理人: 金相允

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及鍍膜的技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種鍍膜治具及鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)

工業(yè)上常用真空鍍膜設(shè)備進(jìn)行鍍膜已完成基片表面沉積膜層形成保護(hù)膜的工作。其中，采用真空條件可以減少空氣分子與靶材的分子相碰撞或者發(fā)生反應(yīng)，使渡到基片的薄膜能夠致密牢固。并且，基片通常使用鍍膜治具進(jìn)行固定夾緊。

但是，目前的鍍膜治具通常使用夾具組對(duì)基片夾緊，更換新的基片時(shí)，需要通過(guò)擰開(kāi)夾具組，取出基片，這樣更換復(fù)雜，浪費(fèi)時(shí)間。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的第一個(gè)目的在于提供一種鍍膜治具，以解決現(xiàn)有鍍膜治具安裝基片不方便的技術(shù)問(wèn)題。

本實(shí)用新型提供的一種鍍膜治具，包括：鍍膜板和夾具組；

所述夾具組包括：若干個(gè)固定夾板組件和若干個(gè)移動(dòng)夾板組件，

若干個(gè)所述固定夾板組件與若干個(gè)所述移動(dòng)夾板組件共同在所述鍍膜板上形成至少一個(gè)可調(diào)節(jié)的安裝區(qū)域；所述安裝區(qū)域用于放置基片，且所述固定夾板組件和移動(dòng)夾板組件分別加緊對(duì)應(yīng)的所述基片的棱角。

進(jìn)一步的，所述安裝區(qū)域的形狀為矩形，在所述安裝區(qū)域相鄰的兩個(gè)棱角部位分別設(shè)置有固定夾板組件，在所述安裝區(qū)域相鄰的另外兩個(gè)棱角部位分別設(shè)置有移動(dòng)夾板組件。

進(jìn)一步的，所述固定夾板組件包括：第一夾具固定板和第一夾具壓板；

所述第一夾具固定板固定所述鍍膜板上，所述第一夾具固定板的側(cè)端設(shè)置用于放置基片的棱角的第一開(kāi)口槽，且所述第一開(kāi)口槽貫穿所述第一夾具固定板的上端；

所述第一夾具壓板設(shè)置在所述第一夾具固定板的上端，且通過(guò)第一緊固組件穿過(guò)所述第一夾具壓板與所述鍍膜板螺紋連接。

進(jìn)一步的，所述移動(dòng)夾板組件包括：第二夾具固定板和第二夾具壓板；

所述第二夾具固定板與所述鍍膜板上可滑動(dòng)連接，使所述第二夾具固定板能夠向相對(duì)的所述固定夾板組件移動(dòng)；所述第二夾具固定板的側(cè)端設(shè)置用于放置基片的棱角的第二開(kāi)口槽，所述第二開(kāi)口槽貫穿所述第二夾具固定板的上端；

所述第二夾具壓板設(shè)置在所述第二夾具固定板的上端，且通過(guò)第二緊固組件穿過(guò)所述第二夾具壓板與所述第二夾具固定板螺紋連接。

進(jìn)一步的，所述第二夾具固定板的下端面設(shè)置有凸起，在所述鍍膜治具的相對(duì)位置設(shè)置有與所述凸起相匹配的卡槽，且所述卡槽的延伸線穿過(guò)相對(duì)的所述固定夾板組件。

進(jìn)一步的，所述移動(dòng)夾板組件還包括彈性元件，通過(guò)彈性元件使所述第二夾具固定板的側(cè)壁與所述鍍膜板彈性連接，以使所述移動(dòng)夾板組件能夠向相對(duì)的所述固定夾板組件的方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

進(jìn)一步的，在所述鍍膜板設(shè)置有第一容置槽，兩個(gè)所述移動(dòng)夾板組件和兩個(gè)所述固定夾板組件依次設(shè)置在所述第一容置槽的四個(gè)棱角部位；

通過(guò)所述彈性元件使第二夾具固定板的側(cè)壁和相對(duì)的所述第一容置槽的側(cè)壁連接。

進(jìn)一步的，所述鍍膜板包括相連的第一鍍膜板和第二鍍膜板，所述第一鍍膜板的膜板面與第二鍍膜板的膜板面形成的鈍角大于180°；

所述第一鍍膜板與第二鍍膜板均設(shè)置有所述夾具組。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有的有益效果：

本實(shí)用新型提供的鍍膜治具，通過(guò)夾具組固定基片的位置。具體的，夾具組包括若干固定夾板組件和若干移動(dòng)夾板組件，通過(guò)固定夾板組件與移動(dòng)夾板組件共同形成一個(gè)安裝區(qū)域，用于放置基片，由于移動(dòng)夾板組件的位置可以調(diào)節(jié)，使安裝區(qū)域可以調(diào)節(jié)大小。其中，通過(guò)固定夾板組件和移動(dòng)夾板組件卡緊基片的棱角，可以更好的起到固定基片的效果。夾具組安裝基片的過(guò)程為，首先通過(guò)若干固定夾板組件固定基片的部分棱角，然后調(diào)節(jié)移動(dòng)夾板組件的位置，使移動(dòng)夾板組件緊固基片的剩余棱角，實(shí)現(xiàn)夾板組固定基片的目的。

該鍍膜治具的固定基片的方式更加簡(jiǎn)單，不需要拆卸夾具組，就能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)基片的固定，且操作方便，能夠大大的節(jié)約時(shí)間，提高了安裝基片的效率。

本實(shí)用新型的第二個(gè)目的在于提供一種鍍膜設(shè)備，以解決現(xiàn)有鍍膜設(shè)備安裝基片不方便的技術(shù)問(wèn)題。

本實(shí)用新型提供的鍍膜設(shè)備，包括：鍍膜裝置、鍍膜爐本體和所述的鍍膜治具；

所述鍍膜裝置設(shè)置在所述鍍膜爐本體的下端，所述鍍膜治具設(shè)置在所述鍍膜裝置的上方。

進(jìn)一步的，鍍膜設(shè)備還包括用于檢測(cè)所述基片的鍍膜厚度的膜厚監(jiān)控器。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有的有益效果：