[實用新型]晶體硅太陽能電池的退火裝置

有效

• 申請號: 201720701624.5
• 申請日: 2017-06-16
• 公開（公告）號: CN207116457U
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 姚錚;吳堅;王栩生;蔣方丹;邢國強
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 胡彬

1.晶體硅太陽能電池的退火裝置，其特征在于，包括用于盛放電池片疊層的托盤，用于傳送所述托盤的傳輸裝置，以及沿著所述傳輸裝置的傳輸方向依次設置的多個工藝腔，所述傳輸裝置穿過每個所述工藝腔；

多個所述工藝腔包括至少一個用于電注入及溫度模塊化控制的退火腔及至少一個用于快速冷卻的冷卻腔，所述退火腔和所述冷卻腔沿著所述傳輸裝置的傳輸方向依次設置；

所述退火腔內部上方設有可上下升降的平板電極，所述平板電極連接外部電源，所述平板電極能夠在傳動裝置的驅動下夾緊電池片疊層與所述托盤，以使電池片疊層與所述平板電極構成回路；

所述傳輸裝置、所述平板電極及所述傳動裝置均連接控制系統。

2.根據權利要求1所述的退火裝置，其特征在于，所述退火腔數量至少兩個，至少兩個所述退火腔的腔體溫度相同或不同，以實現相同或不同的工藝溫度。

3.根據權利要求1所述的退火裝置，其特征在于，所述退火腔內設置有溫控加熱裝置和通氣裝置，通過所述通氣裝置使所述溫控加熱裝置產生的熱量能在所述退火腔內均勻分布；所述溫控加熱裝置和所述通氣裝置均連接所述控制系統；

所述溫控加熱裝置為發熱電阻絲或紅外加熱燈管，所述通氣裝置為通氣管或軸流風扇；

所述溫控加熱裝置的加熱溫度范圍為RT-400℃。

4.根據權利要求1所述的退火裝置，其特征在于，所述冷卻腔內設有散熱裝置，以實現快速冷卻；所述散熱裝置連接所述控制系統；

所述散熱裝置為金屬冷卻平臺或是循環冷卻氣體噴淋裝置；

所述金屬冷卻平臺內設有冷卻管道，所述冷卻管道內設有循環流動的冷卻介質，用以持續散熱；所述冷卻介質為空氣、水或油；

所述循環冷卻氣體噴淋裝置的噴淋氣體為壓縮空氣、氮氣、氬氣或氦氣。

5.根據權利要求1所述的退火裝置，其特征在于，

所述電源輸出的是恒定直流電壓，該電壓的調節范圍為0-1000V；或

所述電源輸出的是恒定直流電流，該電流的調節范圍是0-20A。

6.根據權利要求1所述的退火裝置，其特征在于，所述平板電極的內部設有用于溫度反饋的測溫單元，所述測溫單元為K、S、E或B型熱電偶；

所述測溫單元與所述控制系統連接。

7.根據權利要求1所述的退火裝置，其特征在于，所述平板電極包括至少兩個電極，所述電極間串聯連接，每個所述電極對應一疊電池片疊層，每個所述電極包括至少兩個可伸縮的導電探針或鋪設有耐高溫的導電橡膠。

8.根據權利要求7所述的退火裝置，其特征在于，所述托盤設置有至少兩個用于放置電池片疊層的放置部，多個所述放置部之間串聯連接，以使位于所述放置部的多個電池片疊層之間實現串聯連接；一個所述電極對應一個所述放置部。

9.根據權利要求7所述的退火裝置，其特征在于，每個所述電極設有兩種長度的導電探針，較短的所述導電探針對應于電池片疊層并形成串聯連接，較長的所述導電探針對應于所述托盤并形成串聯連接。

10.根據權利要求1所述的退火裝置，其特征在于，所述傳動裝置包括用于承載并水平傳輸所述托盤的多排滾軸，以及驅動所述滾軸轉動的驅動機構，所述驅動機構連接所述控制系統。

11.根據權利要求1-10任一項所述的退火裝置，其特征在于，每個所述工藝腔均設有用于檢測所述托盤位置的限位裝置。