[實用新型]高精度激光位移測量儀

有效

• 申請號: 201720699371.2
• 申請日: 2017-06-16
• 公開（公告）號: CN206803947U
• 公開（公告）日: 2017-12-26
• 發明（設計）人: 翟玉生;蔣留杰;劉佳明;馮飛翔;王啟真;李志遠;謝澤鏵;王新杰
• 申請（專利權）人: 鄭州輕工業學院
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高精度激光位移測量儀，其特征在于：包括固定單元(101)和移動單元(102)，移動單元(102)固定在測試平臺上；所述移動單元包括二維平移臺(10)、靶鏡(2)，靶鏡固定在二維平移臺(10)沿上，然后再固定導軌移動的測量平臺上；所述固定單元包括由激光器(1)、分束器(3)、四象限探測器(6)、位置敏感探測器(5)、聚焦透鏡(4)、信號處理電路(7)的測量裝置主體和二維角度調節臺(9)，并且測量裝置主體安裝在二維角度調節臺(9)上；分束器(3)和聚焦透鏡(4)依次設置在靶鏡(2)的透射光束的光線上，位置敏感探測器(5)設置在聚焦透鏡(4)的焦平面上，四象限探測器(6)設置在分束器(3)的垂直光路上；所述位置敏感探測器(5)、四象限探測器(6)均與信號處理電路(7)相連接，信號處理電路(7)與處理計算機(8)相連接并處理分析。

2.根據權利要求1所述的高精度激光位移測量儀，其特征在于，所述激光器(1)為He-Ne激光器或半導體激光器的激光器。

3.根據權利要求1所述的高精度激光位移測量儀，其特征在于，所述靶鏡(2)為角錐棱鏡。

4.根據權利要求1所述的高精度激光位移測量儀，其特征在于，所述的二維平移臺(10)為可以水平方向和垂直方向精密平移手動調節的裝置。

5.根據權利要求1所述的高精度激光位移測量儀，其特征在于，所述的二維角度調節臺(9)為可以水平方向和垂直方向精密角度手動調節的裝置。