[實用新型]一種用于球柵陣列器件植球的工裝有效
| 申請號: | 201720696857.0 | 申請日: | 2017-06-15 |
| 公開(公告)號: | CN207009402U | 公開(公告)日: | 2018-02-13 |
| 發明(設計)人: | 李佳;桑飛;張偉;李小龍 | 申請(專利權)人: | 中國電子科技集團公司第三十八研究所 |
| 主分類號: | H01L21/60 | 分類號: | H01L21/60 |
| 代理公司: | 合肥金安專利事務所34114 | 代理人: | 徐偉 |
| 地址: | 230088 安徽*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 陣列 器件 工裝 | ||
1.一種用于球柵陣列器件植球的工裝,其特征在于:所述工裝包括底座(1)、網板(2)和壓板(3),所述底座(1)為一塊矩形平板,所述底座(1)的一端設有靜電釋放接口(11),所述底座(1)的上側面上設有方形平臺(12);所述網板(2)為一塊厚度為0.2~0.5mm的鋼板,所述網板(2)上設有正方形網篩(21),所述正方形網篩(21)上設有均勻等距離布置的網孔(211);所述壓板(3)設有方形孔(31);
使用時,所述網板(2)放置在底座(1)與壓板(3)之間,且用壓緊螺釘(4)壓緊網板(2)。
2.根據權利要求1所述的一種用于球柵陣列器件植球的工裝,其特征在于:所述底座(1)上設有環形的導流槽(13),所述導流槽(13)環繞著所述方形平臺(12)的周邊;所述底座(1)上設有兩個壓緊螺孔(14),用于安裝壓緊螺釘(4)。
3.根據權利要求1所述的一種用于球柵陣列器件植球的工裝,其特征在于:所述網板(2)上設有1~4個漏球孔(22),所述漏球孔(22)分別位于正方形網篩(21)的四角的位置上。
4.根據權利要求3所述的一種用于球柵陣列器件植球的工裝,其特征在于:所述壓板(3)的方形孔(31)的四角位置上設有倒角孔(32),所述倒角孔(32)與所述漏球孔(22)位置重合。
5.根據權利要求1所述的一種用于球柵陣列器件植球的工裝,其特征在于:所述網孔(211)的直徑為0.65mm,孔距為1mm。
6.根據權利要求1所述的一種用于球柵陣列器件植球的工裝,其特征在于:所述網板(2)為不銹鋼鋼板。
7.根據權利要求1所述的一種用于球柵陣列器件植球的工裝,其特征在于:所述底座(1)和壓板(3)為鋁合金板或金屬銅板制作。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





