[實用新型]測量系統

有效

• 申請號: 201720692112.7
• 申請日: 2017-06-14
• 公開（公告）號: CN206974377U
• 公開（公告）日: 2018-02-06
• 發明（設計）人: 陳魯
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 北京永新同創知識產權代理有限公司11376
• 代理人: 鐘勝光

1.一種測量系統，其特征在于，包括：

透鏡組件，其被配置為接收來自被測樣品的反射光，并將所述反射光至少分為第一反射光和第二反射光；

成像單元，其被配置為接收所述第一反射光，以獲取所述被測樣品表面的成像數據，所述成像數據包括所述被測樣品的至少一個檢測區域中的至少一個被測區的分布信息；

膜厚測量單元，其被配置為接收所述第二反射光，用于獲取所述至少一個被測區中指定的物的膜厚的數據；以及

處理單元，其與所述成像單元、所述膜厚測量單元通信連接，并且被配置為基于所述分布信息來確定所述至少一個被測區的檢測路徑，并基于所述至少一個被測區的檢測路徑來使得所述膜厚測量單元獲得所述被測區的膜厚的數據，進而實現對所述至少一個檢測區域中的指定的被測區的測量；

其中，在光學路徑上，所述成像單元的光譜接收面、所述膜厚測量單元的光譜接收面被設置為與所述被測樣品光學共軛。

2.如權利要求1所述的測量系統，其特征在于，所述處理單元基于所述分布信息來確定所述被測區的檢測路徑的過程包括：

基于所述被測樣品表面的區域性特征來確定所述至少一個檢測區域，進而確定所述至少一個檢測區域的檢測路徑；以及

基于所述被測區的特征來確定所述被測區在所述至少一個檢測區域中的分布，進而確定所述被測區的檢測路徑。

3.如權利要求1所述的測量系統，其特征在于，所述被測區包括凹陷或凸起。

4.如權利要求3所述的測量系統，其特征在于，當所述被測區包括被測孔時，確定所述被測孔在所述至少一個檢測區域中的分布的過程包括：

所述處理單元基于所述成像數據獲得圓孔信息，其中，所述圓孔信息包括圓孔分布以及圓孔特征信息；以及

所述處理單元基于所述被測孔的特征以及所獲得的圓孔信息來確定所述被測孔的在所述被測樣品表面的分布。

5.如權利要求1所述的測量系統，其特征在于，所述膜厚測量單元包括至少一個光闌，所述至少一個光闌沿光學路徑設置在所述膜厚測量單元的光譜接收面和所述透鏡組件之間，以使得所述膜厚測量單元的光譜接收面僅接收由所述被測區所產生的反射光。

6.如權利要求5所述的測量系統，其特征在于，所述膜厚測量單元包括第一光闌和第二光闌，其中，所述第一光闌用于濾除第一特性的反射光所述第二光闌用于濾除第二特性的反射光。

7.如權利要求6所述的測量系統，其特征在于，所述第一特性的反射光的反射角度小于所述第二特性的反射光的反射角度。

8.如權利要求6所述的測量系統，其特征在于，所述第一光闌與所述第二光闌同光軸地設置。

9.如權利要求8所述的測量系統，其特征在于，所述第一光闌的孔直徑大于所述第二光闌的孔直徑。

10.如權利要求1所述的測量系統，其特征在于，所述指定的被測區通過以下過程中的至少一項來確定：

所述處理單元根據所述至少一個被測區的檢測路徑來指定所述指定的被測區；和

所述處理單元響應于用戶輸入來指定所述指定的被測區。

11.如權利要求1所述的測量系統，其特征在于，還包括：

機臺，其用于承載所述被測樣品，并且在所述處理單元的控制下移動；以及

光源組件，其包括氙燈，用于提供入射至所述被測樣品的入射光。