[實用新型]一種納米紙襯底薄膜晶體管

有效

• 申請號: 201720690662.5
• 申請日: 2017-06-14
• 公開（公告）號: CN207217549U
• 公開（公告）日: 2018-04-10
• 發明（設計）人: 寧洪龍;曾勇;姚日暉;鄭澤科;章紅科;方志強;陳港;彭俊彪
• 申請（專利權）人: 華南理工大學
• 主分類號: H01L29/786
• 分類號: H01L29/786;H01L21/34;B82Y10/00;B82Y30/00
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司44245
• 代理人: 羅嘯秋

1.一種納米紙襯底薄膜晶體管，其特征在于：由依次層疊的硬質襯底、納米紙襯底、緩沖層、柵極、柵極絕緣層、有源層和源/漏電極構成；所述納米紙襯底與緩沖層鋪滿整個硬質襯底，柵極、柵極絕緣層、有源層和源/漏電極形成一個底柵交錯型結構，即柵極下表面、柵極絕緣層外側兩端、源/漏電極外側兩端均與緩沖層連接，有源層設置在柵極絕緣層上層與源/漏電極內側兩端之間。

2.根據權利要求1所述的一種納米紙襯底薄膜晶體管，其特征在于：所述的硬質襯底是指玻璃襯底。

3.根據權利要求1所述的一種納米紙襯底薄膜晶體管，其特征在于：所述緩沖層材料為SiO₂或Al₂O₃。