[實用新型]一種集成電路用蝕刻網刷洗裝置有效

申請號：	201720687962.8	申請日：	2017-06-14
公開（公告）號：	CN207086408U	公開（公告）日：	2018-03-13
發明（設計）人：	曹辰	申請（專利權）人：	上海陸離光電科技有限公司
主分類號：	B08B1/04	分類號：	B08B1/04;B08B1/00
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	201109 上海市閔***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種集成電路蝕刻刷洗裝置
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【權利要求書】：

1.一種集成電路用蝕刻網刷洗裝置，包括刷洗電機，其特征在于：刷洗電機的一端設有第一扣座，刷洗電機的另一端設有第二扣座，第二扣座與第一扣座之間設有對接軸；第一扣座的背部設有第一固定板，第一固定板的中部位置設有第一彎曲部，第一固定板的一側設有第一固定桿，第一固定板的另一側與第一扣座的背部之間設有第一固定螺栓；第二扣座的前部設有第二固定板，第二固定板的中部設有第二彎曲部，第二固定板的一側設有第二固定桿，第二固定板的另一側與第二扣座的前部之間設有第二固定螺栓；刷洗電機的前部設有旋轉軸，旋轉軸的一端與刷洗電機的前部連接，旋轉軸的另一端為自由端；旋轉軸的自由端外周面套裝有鎖筒。

2.根據權利要求1所述的集成電路用蝕刻網刷洗裝置，其特征在于：鎖筒與旋轉軸的自由端之間設有固定螺母。

3.根據權利要求1所述的集成電路用蝕刻網刷洗裝置，其特征在于：刷洗電機的前部設有導向筒，旋轉軸穿過導向筒。

4.根據權利要求1所述的集成電路用蝕刻網刷洗裝置，其特征在于：旋轉軸的端部套裝有鎖環。

5.根據權利要求1所述的集成電路用蝕刻網刷洗裝置，其特征在于：第一扣座的背部設有扣帽。

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