[實用新型]一種針對復雜氣體光譜分析的多氣室結構

有效

• 申請號: 201720687149.0
• 申請日: 2017-06-14
• 公開（公告）號: CN206862869U
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 胡雪蛟;向柳;羅丹
• 申請（專利權）人: 深圳米字科技發展有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司11228
• 代理人: 張濤,張瑾

1.一種針對復雜氣體光譜分析的多氣室結構，其特征在于：包括氣室組件以及位于氣室組件一側與氣室組件間隔設置的制冷基板，所述氣室組件包括上下層疊設置的一個測量氣室和多個參考氣室，所述制冷基板上設有一激光器，所述測量氣室與所述制冷基板相對的側壁上以及每一所述參考氣室與所述制冷基板相對的側壁上均設有通光口，所述制冷基板與所述氣室組件之間設有用于將激光器發出的激光引導至各個所述通光口的分光裝置，所述測量氣室和所述參考氣室內均設有用于將入射到氣室內的激光從所述通光口反射出去的反光裝置，所述制冷基板上還設有與所述測量氣室以及各所述參考氣室一一對應的多個光電探測器，所述制冷基板與所述氣室組件之間還設有用于將從各個所述通光口反射出來的激光匯聚到對應的所述光電探測器的聚光裝置。

2.如權利要求1所述的針對復雜氣體光譜分析的多氣室結構，其特征在于：所述通光口為光學窗口，所述分光裝置包括沿光路依次設置的多個分光鏡和一個反射鏡。

3.如權利要求2所述的針對復雜氣體光譜分析的多氣室結構，其特征在于：所述激光器與該光路上的第一個所述分光鏡之間設有激光匯聚透鏡。

4.如權利要求2所述的針對復雜氣體光譜分析的多氣室結構，其特征在于：所述聚光裝置為與各個所述光電探測器一一對應的多個反射光匯聚透鏡。

5.如權利要求1所述的針對復雜氣體光譜分析的多氣室結構，其特征在于：所述通光口包括入光孔和出光孔，所述分光裝置包括分光器、連接激光器和分光器的第一光纖以及連接分光器和各個所述入光孔的第二光纖。

6.如權利要求5所述的針對復雜氣體光譜分析的多氣室結構，其特征在于：所述聚光裝置包括連接所述光電探測器和對應所述出光孔的第三光纖。

7.如權利要求1所述的針對復雜氣體光譜分析的多氣室結構，其特征在于：所述反光裝置包括設置在所述測量氣室內壁以及所述參考氣室內壁上的多個反射鏡，每一所述反射鏡與對應氣室的所述通光口相對設置。

8.如權利要求1所述的針對復雜氣體光譜分析的多氣室結構，其特征在于：所述測量氣室和所述參考氣室均獨立設置且相互之間可拆卸連接。

9.如權利要求1所述的針對復雜氣體光譜分析的多氣室結構，其特征在于：還包括對所述測量氣室和所述參考氣室進行整體控溫的溫控裝置。

10.如權利要求1所述的針對復雜氣體光譜分析的多氣室結構，其特征在于：所述測量氣室和所述參考氣室均設有進氣口和出氣口。