[實(shí)用新型]液處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720684031.2
• 申請日: 2017-06-13
• 公開（公告）號: CN207303048U
• 公開（公告）日: 2018-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安倍昌洋;稻田博一;東徹;中島常長;木下尚文;梶原英樹
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11277
• 代理人: 劉新宇

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種向基板供給處理液來進(jìn)行液處理的液處理裝置、液處理方法以及包括液處理裝置所使用的計(jì)算機(jī)程序的存儲(chǔ)介質(zhì)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造步驟的光刻法步驟中，通過液處理裝置向作為基板的半導(dǎo)體晶圓(以下稱作晶圓)的表面供給抗蝕劑等處理液來進(jìn)行處理。作為該液處理裝置，有時(shí)為了提高生產(chǎn)率而構(gòu)成為設(shè)置多個(gè)在該液處理裝置中具備基板保持部的杯部(cup)，能夠在各杯部并行地對晶圓進(jìn)行處理。并且，有時(shí)為了削減裝置的制造成本，將裝置構(gòu)成為在這些多個(gè)杯部之間共用噴嘴，噴嘴通過臂在該多個(gè)杯部之間移動(dòng)。

另外，在如上述的那樣在多個(gè)杯部中共用噴嘴的液處理裝置中，有時(shí)為了應(yīng)對處理的多樣化而構(gòu)成為具備供給互不相同的種類的處理液的多個(gè)噴嘴。在該情況下，例如各噴嘴載置于杯部的外側(cè)的載置部，上述的臂選擇這些噴嘴中的一個(gè)來保持，并將該噴嘴輸送到各杯部的晶圓上來進(jìn)行處理。在專利文獻(xiàn)1中示出了這樣構(gòu)成的液處理裝置。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2014-241382號公報(bào)

實(shí)用新型內(nèi)容

實(shí)用新型要解決的問題

另外，在上述的各噴嘴上連接有用于向該噴嘴供給處理液的配管。在如已述的那樣通過臂在各杯部上與載置部之間輸送噴嘴的情況下，噴嘴的輸送路徑比較復(fù)雜。另外，為了確保高的生產(chǎn)率，臂的移動(dòng)以比較高的速度進(jìn)行。因此，存在如下?lián)鷳n：在與輸送中的噴嘴連接的配管中，由于急劇地產(chǎn)生大的彎曲、扭曲而受到損傷。在專利文獻(xiàn)1中沒有記載關(guān)于這樣的問題的充分的解決方法。

本實(shí)用新型是基于這樣的情況而完成的，其目的在于關(guān)于在噴嘴載置區(qū)域與多個(gè)基板載置區(qū)域上的各處理位置之間進(jìn)行噴嘴的輸送的液處理裝置，能夠抑制對與噴嘴連接的配管的損傷并且抑制生產(chǎn)率的下降。

用于解決問題的方案

本實(shí)用新型的液處理裝置的特征在于，具備：多個(gè)基板載置區(qū)域，所述多個(gè)基板載置區(qū)域在左右方向上排列；噴嘴，其用于從各所述基板載置區(qū)域上的各處理位置分別向基板供給處理液來對該基板進(jìn)行處理；噴嘴載置區(qū)域，其設(shè)置在所述基板載置區(qū)域的列的后方，用于載置所述噴嘴；臂，其將所述噴嘴以裝卸自如的方式保持在該臂的一端側(cè)；驅(qū)動(dòng)部，其用于使所述臂繞位于所述基板載置區(qū)域的后方側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸在水平方向上轉(zhuǎn)動(dòng)，并且使所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸在左右方向上移動(dòng)；以及控制部，其輸出控制信號，使得執(zhí)行以下步驟：從所述噴嘴載置區(qū)域?qū)⑺鰢娮鞆呐c各處理位置對應(yīng)地設(shè)定的待機(jī)位置中的與輸送目的地的處理位置對應(yīng)的待機(jī)位置的后方輸送到該待機(jī)位置；接著使該噴嘴在該待機(jī)位置進(jìn)行待機(jī)；以及之后將該噴嘴輸送到所述處理位置，其中，所述待機(jī)位置位于基板載置區(qū)域的外側(cè)且在前后方向上觀察時(shí)位于處理位置與噴嘴載置區(qū)域之間。

優(yōu)選的是，用于向所述噴嘴供給所述處理液的配管連接于該噴嘴，該配管以從位于所述噴嘴載置區(qū)域的所述噴嘴起沿左右方向延伸的方式進(jìn)行設(shè)置，使得與各所述噴嘴位于各處理位置上時(shí)相比，在各所述噴嘴位于所述噴嘴載置區(qū)域時(shí)配管的變形得到抑制。

優(yōu)選的是，所述噴嘴設(shè)置有多個(gè)，通過所述臂選擇性地保持所述噴嘴。

優(yōu)選的是，所述控制部輸出控制信號，使得在將被所述臂保持的所述噴嘴輸送到所述待機(jī)位置之前，使所述噴嘴在設(shè)定在比該待機(jī)位置靠后方側(cè)的位置的后方側(cè)待機(jī)位置進(jìn)行待機(jī)。

優(yōu)選的是，在向一個(gè)所述處理位置輸送所述噴嘴時(shí)，噴嘴位于與該處理位置對應(yīng)的所述后方側(cè)待機(jī)位置的時(shí)間比噴嘴位于與該處理位置對應(yīng)的所述待機(jī)位置的時(shí)間長。

優(yōu)選的是，在向所述各處理位置輸送所述噴嘴時(shí)，所述臂向相同方向轉(zhuǎn)動(dòng)來進(jìn)行該噴嘴的輸送。

本實(shí)用新型的液處理方法用于液處理裝置，所述液處理裝置具備：多個(gè)基板載置區(qū)域，所述多個(gè)基板載置區(qū)域在左右方向上排列；噴嘴，其用于從各所述基板載置區(qū)域上的各處理位置分別向基板供給處理液來對該基板進(jìn)行處理；噴嘴載置區(qū)域，其設(shè)置在所述基板載置區(qū)域的列的后方，用于載置所述噴嘴；臂，其將所述噴嘴以裝卸自如的方式保持在該臂的一端側(cè)；以及驅(qū)動(dòng)部，其用于使所述臂繞位于所述基板載置區(qū)域的后方側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸在水平方向上轉(zhuǎn)動(dòng)，并且使所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸在左右方向上移動(dòng)，所述液處理方法的特征在于，具備以下步驟：從所述噴嘴載置區(qū)域?qū)⑺鰢娮鞆呐c各處理位置對應(yīng)地設(shè)定的待機(jī)位置中的與輸送目的地的處理位置對應(yīng)的待機(jī)位置的后方輸送到該待機(jī)位置的步驟；接著使該噴嘴在該待機(jī)位置進(jìn)行待機(jī)的步驟；以及之后將該噴嘴輸送到所述處理位置的步驟，其中，所述待機(jī)位置位于基板載置區(qū)域的外側(cè)且在前后方向上觀察時(shí)位于處理位置與噴嘴載置區(qū)域之間。