[實(shí)用新型]分支目標(biāo)一致的多靈敏度任意反射表面速度干涉儀有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720678439.9 | 申請日： | 2017-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN207050864U | 公開（公告）日： | 2018-02-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 閆亞東;何俊華;王峰;許瑞華;齊文博;王維 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所 |
| 主分類號： | G01J11/00 | 分類號： | G01J11/00 |
| 代理公司： | 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司61211 | 代理人： | 陳廣民 |
| 地址： | 710119 陜西省西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 分支 目標(biāo) 一致 靈敏度 任意 反射 表面 速度 干涉儀 | ||
1.一種分支目標(biāo)一致的多靈敏度任意反射表面速度干涉儀，其特征在于：包括照明光源、照明分束鏡、成像鏡頭、中間像面和信號分束鏡，照明光源發(fā)出的激光經(jīng)照明分束鏡反射后再經(jīng)過成像鏡頭聚焦于靶面，由靶面反射的多普勒信號光經(jīng)成像鏡頭會聚于中間像面，然后經(jīng)信號分束鏡分束后進(jìn)入多個(gè)測量分支，所述測量分支包括沿光路傳播方向設(shè)置的準(zhǔn)直鏡、干涉儀、會聚鏡和條紋相機(jī)；所述條紋相機(jī)是不帶狹縫的條紋相機(jī)，所述中間像面上設(shè)置有狹縫。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分支目標(biāo)一致的多靈敏度任意反射表面速度干涉儀，其特征在于：所述照明光源與照明分束鏡之間還設(shè)置有整形照明鏡頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分支目標(biāo)一致的多靈敏度任意反射表面速度干涉儀，其特征在于：所述照明光源發(fā)出的激光經(jīng)照明光纖傳輸至整形照明鏡頭。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一所述的分支目標(biāo)一致的多靈敏度任意反射表面速度干涉儀，其特征在于：所述測量分支的干涉儀中設(shè)置有平行平晶標(biāo)準(zhǔn)具。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的分支目標(biāo)一致的多靈敏度任意反射表面速度干涉儀，其特征在于：不同測量分支內(nèi)的平行平晶標(biāo)準(zhǔn)具的厚度不同。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的分支目標(biāo)一致的多靈敏度任意反射表面速度干涉儀，其特征在于：所述中間像面上設(shè)置的狹縫是長25mm、寬50μm的狹縫。
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