[實用新型]一種真空旋轉裝置

有效

• 申請號: 201720670207.9
• 申請日: 2017-06-10
• 公開（公告）號: CN207321034U
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發明（設計）人: 潘學勤
• 申請（專利權）人: 上海陛通半導體能源科技股份有限公司
• 主分類號: H02K7/10
• 分類號: H02K7/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種真空下晶元旋轉設備，涉及晶元旋轉設備中一種真空旋轉裝置。

背景技術

旋轉裝置是一種動力傳輸裝置，在運動部件領域有著廣泛應用。在設備中，旋轉裝置對動力轉移，帶動內部部件轉動起到至關作用，達到非接觸式動力傳輸的效果。為此，特設計使產品在真空下，動力輸出在大氣下的真空旋轉裝置，使用壽命得到延長。

發明內容

為實現上述目的，本實用新型所提供的技術方案是：一種真空旋轉的裝置，它由軸承A、聯結軸、軸承B、連接管套、同步輪A、軸承C、外襯套、軸承D、軸承套和磁鐵組成；所述軸承A裝配在聯結軸前端，軸承B裝配在聯結軸末端，軸承A和軸承B與聯結軸的組合體安裝到連接管套內；所述的同步輪A和軸承C裝配在連接管套方形固定架下方；所述的磁鐵粘貼在外襯套內部凹槽內，外襯套安裝在連接管套的外部，外襯套配合軸承C裝配于同步輪A，所述的軸承D安裝在連接管套外部的底部，軸承套套住軸承D與外襯套相連接。

所述的旋轉裝置的聯結軸和外襯套是不接觸的，中間有連接管套隔絕開；

所述旋轉裝置的聯結軸兩端安裝軸承后裝配于連接管套內部；

所述旋轉裝置的磁鐵粘貼在外襯套的內壁凹槽內；

所述旋轉裝置的同步輪、外襯套、軸承套配合軸承安裝在連接管套外部；

所述旋轉裝置是由連接管套固定于真空腔體上；

所述旋轉裝置的托盤安裝在聯結軸頂端。

本實用新型的優點是：穩定可靠，安裝簡單；旋轉裝置的真空密閉方法簡單方便，便于維護；可把外部動力傳輸到密閉的腔體內部，使用靈活。

附圖說明

圖1為本實用新型的密封圈、聯結軸、連接管套、同步帶、同步輪B、馬達、軸承A、軸承B、同步輪A、軸承C、外襯套、軸承D、軸承套、托盤、磁鐵、腔體裝配示意圖；

圖2為本實用新型的密封圈、聯結軸、連接管套、同步帶、同步輪B、馬達、軸承A、軸承B、同步輪A、軸承C、外襯套、軸承D、軸承套、托盤、磁鐵、腔體裝配爆炸示意圖；

圖3為本實用新型的磁鐵、外襯套爆炸示意圖；

圖4為本實用新型的連接管套示意圖；

圖5為本實用新型的聯結軸示意圖；

1.腔體；2.軸承套；3.軸承D；4.外襯套；5.軸承C；6.同步輪A；7.馬達；8.同步輪B；9.同步帶；10.連接管套；11.軸承B；12.聯結軸；13.托盤；14.軸承A；15.密封圈；16.磁鐵。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型做進一步說明，本實用新型較佳實施例為：參見附圖1、附圖2、附圖3、附圖4和附圖5。本實例所述的真空旋轉裝置，它由軸承A14、聯結軸12、軸承B11、連接管套10、同步輪A6、軸承C5、外襯套4、軸承D3、軸承套2和磁鐵16組成。所述軸承A14裝配聯結軸12前端，軸承B11裝配在聯結軸12末端，聯結軸12的組合體安裝到連接管套10內部，同步輪A6和軸承C5裝配在連接管套10方形固定架下方，磁鐵16粘貼在外襯套4內部凹槽內，外襯套4安裝在連接管套10的外部，外襯套4和同步輪A6相連接，軸承D3安裝在連接管套外部的底部，軸承套2套住軸承D3與外襯套4相連接，因為連接管套10隔絕，聯結軸12和外襯套4是不接觸的。

當運馬達7帶動同步輪B8轉動時，通過同步帶9傳輸動力給同步輪A6，從而帶動外襯套4轉動，由于外襯套4內部磁鐵16的作用，磁場吸引住連接管套10內部的聯結軸12，由于磁場的作用聯結軸12跟著外襯套4轉動，連接管套10和密封圈15配合安裝到腔體1上面，由于連接管套10其他地方是密閉的，所以達到把聯結軸12隔絕在真空內，外襯套4隔絕在真空外，達到把外部動力傳輸到真空內的效果。

把托盤13安裝到聯結軸12頂端，托盤13隨著聯結軸12轉動，當晶元放置托盤13上面時，馬達7在真空外轉動，最終托盤13上面的晶元也跟隨轉動。

以上所述實例只為本實用新型之較佳實例，并非以此限制本實用新型的實施范圍。故凡依本實用新型的形狀、原理所做的變化，均應涵蓋在本實用新型保護范圍內。