[實用新型]一種單晶體硅加工用轉移裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720669751.1
• 申請日: 2017-06-10
• 公開（公告）號: CN206842508U
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發(fā)明（設計）人: 李秀春
• 申請（專利權）人: 福建鑫隆光伏科技有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90
• 代理公司: 北京天奇智新知識產權代理有限公司11340
• 代理人: 曾捷

1.一種單晶體硅加工用轉移裝置，包括滑軌（3）和吸盤（13），其特征在于：所述滑軌（3）平行設置有兩個，所述滑軌（3）的兩端均固定連接于固定板（1），所述滑軌（3）上滑動連接有滑套（2），所述滑套（2）的底端與頂板（6）固定連接，所述頂板（6）的下表面通過液壓桿（7）固定連接于支架（8）的一端，所述支架（8）的另一端與連接板（11）固定連接，所述連接板（11）下表面通過彈簧（14）連接于吸盤（13），所述吸盤（13）上連接有氣管（12），所述頂板（6）的上表面中心處固定連接有滑塊（10），所述滑塊（10）與絲桿（9）螺紋連接，所述絲桿（9）的一端連接于步進電機（4）。

2.根據權利要求1所述的一種單晶體硅加工用轉移裝置，其特征在于：所述吸盤（13）的中部設有空腔，所述吸盤（13）的下表面設置有一層橡膠防滑層，所述吸盤（13）的下表面設置有連通于空腔的氣孔（15）。

3.根據權利要求1所述的一種單晶體硅加工用轉移裝置，其特征在于：所述氣管（12）包括進氣管（121）和出氣管（123），所述進氣管（121）的另一端與鼓風機（122）連接，所述出氣管（123）的另一端與真空泵（124）連接。

4.根據權利要求3所述的一種單晶體硅加工用轉移裝置，其特征在于：所述鼓風機（122）與滑軌（3）上固定的接觸開關（5）電性連接。

5.根據權利要求1所述的一種單晶體硅加工用轉移裝置，其特征在于：所述彈簧（14）沿著吸盤（13）上表面邊緣等間隔分布。

6.根據權利要求1所述的一種單晶體硅加工用轉移裝置，其特征在于：所述絲桿（9）的兩端分別與固定板（1）轉動連接，所述步進電機（4）固定在遠離吸盤（13）一側的固定板（1）上。