[實用新型]電容式壓力傳感器及壓力測量電路有效
| 申請號： | 201720666871.6 | 申請日： | 2017-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN207163608U | 公開（公告）日： | 2018-03-30 |
| 發明（設計）人： | 霍紅穎;湛邵斌;胡濤;盧鑫;陳三風 | 申請（專利權）人： | 深圳信息職業技術學院;湛邵斌 |
| 主分類號： | G01L1/14 | 分類號： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 深圳中一專利商標事務所44237 | 代理人： | 官建紅 |
| 地址： | 518029 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容 壓力傳感器 壓力 測量 電路 | ||
1.一種電容式壓力傳感器，其特征在于，包括：設有一空腔的襯底、可動薄膜和叉指電容；
所述可動薄膜設置在所述襯底的空腔的上部，所述可動薄膜與所述襯底固定連接；
所述叉指電容包括固定電極和可動電極，所述固定電極設置在所述襯底上，所述可動電極設置所述可動薄膜上。
2.根據權利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述固定電極包括第一連接端以及與所述第一連接端一體成型的若干固定叉指，所述第一連接端與所述襯底固定連接。
3.根據權利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述可動電極包括第二連接端以及與所述第二連接端一體成型的若干可動叉指，所述第二連接端與所述可動薄膜固定連接。
4.根據權利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述空腔的形狀為立方體或圓柱體。
5.根據權利要求4所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述空腔的截面形狀為梯形，且梯形的上底邊長大于下底邊長。
6.根據權利要求2所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述固定電極的第一連接端與所述襯底連接部分設有絕緣層。
7.根據權利要求1-6任一項所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述襯底和所述可動薄膜的材料均為半導體材料。
8.一種壓力測量電路，其特征在于，包括如權利要求1-7任一項所述的電容式壓力傳感器，以及電源模塊和電感器；
所述電容式壓力傳感器與所述電感器的一端電連接，所述電源模塊分別與所述電容式壓力傳感器的另一端和所述電感器的另一端電連接。
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