[實用新型]一種超高溫蒸發源

有效

• 申請號: 201720662718.6
• 申請日: 2017-06-08
• 公開（公告）號: CN206916211U
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 張德雨;張家志;柏佳順;謝斌平;歐宏偉;趙嘉峰
• 申請（專利權）人: 費勉儀器科技（上海）有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司31253
• 代理人: 馮子玲

1.一種超高溫蒸發源，其特征在于：包括加熱絲、坩堝、保溫爐、降溫模塊；

所述坩堝置于所述保溫爐內部；

所述加熱絲包括第一加熱段和第二加熱段，所述第一加熱段與所述第二加熱段以雙螺旋結構環繞于所述坩堝外；

所述加熱絲還包括支撐腳，所述支撐腳穿過所述降溫模塊向外延伸并接電，所述降溫模塊用于阻隔所述保溫爐內部的熱量沿所述支撐腳延伸方向向外部傳遞。

2.根據權利要求1所述的超高溫蒸發源，其特征在于：所述降溫模塊包括隔熱層和冷卻室，所述隔熱層由兩片或兩片以上隔熱片組成；

所述隔熱層設置于所述冷卻室與所述坩堝之間，所述冷卻室位于所述保溫爐底部。

3.根據權利要求2所述的超高溫蒸發源，其特征在于：所述冷卻室第二端設有排出管和輸入管，

所述超高溫蒸發源還包括第一法蘭，所述排出管與所述輸入管均通過第一法蘭固定以支撐所述冷卻室。

4.根據權利要求3所述的超高溫蒸發源，其特征在于：所述第一法蘭與所述降溫模塊之間設置有調節桿。

5.根據權利要求4所述的超高溫蒸發源，其特征在于：所述保溫爐內設有第一坩堝支撐件和第二坩堝支撐件；

所述坩堝第一端包括環形凸緣，所述第一坩堝支撐件上具有能與所述環形凸緣相契合的環形下凹部；

所述第二坩堝支撐件包括坩堝托及支撐桿，所述坩堝第二端置于所述坩堝托上，所述支撐桿一端與所述坩堝托相連，所述支撐桿另一端插入但不穿透所示隔熱層。

6.根據權利要求5所述的超高溫蒸發源，其特征在于：所述超高溫蒸發源還包括絕緣管，所述絕緣管貫穿所述降溫模塊，所述支撐腳被插入所述絕緣管內，使之不與所述降溫模塊接觸。

7.根據權利要求1～6中任一所述的超高溫蒸發源，其特征在于：所述保溫爐上設有進料口，所述加熱絲頂部設置有位于所述保溫爐進料口下方的限位片，所述限位片用于防止所述加熱絲向所述進料口方向滑動。

8.根據權利要求7所述的超高溫蒸發源，其特征在于：所述超高溫蒸發源還包括熱電偶，所述熱電偶第一端置于所述加熱絲與所述坩堝托之間，所述熱電偶第二端穿過所述降溫模塊向外延伸并接電。

9.根據權利要求8所述的超高溫蒸發源，其特征在于：所述加熱絲的加熱方式為電阻加熱。

10.根據權利要求6所述的超高溫蒸發源，其特征在于：所述坩堝的材質為鉭，所述第一坩堝支撐件材質為鉭，所述第二坩堝支撐件材質為鎢。