[實用新型]一種電機控制裝置

有效

• 申請號: 201720661852.4
• 申請日: 2017-06-08
• 公開（公告）號: CN206850598U
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發明（設計）人: 孫德付
• 申請（專利權）人: 無錫升滕半導體技術有限公司
• 主分類號: H02K7/116
• 分類號: H02K7/116;H02K7/10;H02K7/14;H02K11/24;H02K11/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種電機控制裝置。

背景技術

ULTIMA是半導體薄膜設備中做高密度等離子的設備，由于設備結構復雜，CHAMBER LID很重，由于CHAMBER LID目前是采用手動轉動手輪實現升降，導致CHAMBER PM和維修時在打開和關閉CHAMBER LID上花費大量的時間和體力，造成勞動力的低價值輸出和較低的工作效率。

發明內容

發明目的：為了克服現有技術中存在的不足，本實用新型提供一種電機控制裝置，采用弱電驅動，設備體積小，操作簡單。

技術方案：為實現上述目的，本實用新型的技術方案如下：

一種電機控制裝置，包括機體、控制器、驅動電機、減速器和法蘭盤，所述所述控制器設置在機體內，所述機體內還設置有驅動電機，所述控制器與驅動電機電性連接，所述驅動電機的動力輸出端設置有減速器，所述減速器的動力輸出端設置有法蘭盤，所述法蘭盤與外接載體連接設置。

進一步的，所述減速器包括第一傳動軸、第二傳動軸和第三傳動軸，所述第一傳動軸與第三傳動軸位于同一直線上，所述第二傳動軸設置在減速器機體上，且第二傳動軸與第一傳動軸垂直設置；所述第一傳動軸的一端與驅動電機的動力輸出端連接設置，另一端包含有第一螺旋錐齒輪，所述第二傳動軸上包含有第二螺旋錐齒輪和第三螺旋錐齒輪，所述第三傳動軸一端包含有第四螺旋錐齒輪，另一端與法蘭盤連接設置，所述第一螺旋錐齒輪與第二螺旋錐齒輪嚙合傳動設置，所述第三螺旋錐齒輪與第四螺旋錐齒輪嚙合傳動設置；所述螺旋錐齒輪與對應的傳動軸均為一體式設置。

進一步的，所述螺旋錐齒輪的螺旋角度均為12°～20°。

進一步的，所述第一傳動軸上開設有與驅動電機動力輸出軸連接設置的軸孔，所述軸孔內設置有內花鍵槽，所述第一傳動軸的外表面上均勻設置有用于定位所述動力輸出軸的3個徑向銷孔。

進一步的，所述法蘭盤包括法蘭腔體、法蘭蓋板、法蘭腔板和壓力塊，所述法蘭蓋板設置在法蘭腔體的開口側，所述法蘭腔板設置在法蘭腔體內，所述法蘭腔板上開設有兩個對稱的U型凹槽，所述法蘭腔板的中心位置設置有連接孔，所述連接孔內開設有花鍵槽，兩個所述壓力快分別與兩個U型凹槽對應間隙設置，且所述壓力塊固定設置在法蘭腔體的內壁上。

進一步的，還包括碟形彈簧，所述碟形彈簧設置在壓力塊與U型凹槽側壁相對的兩側壁上。

進一步的，還包括扭力傳感器，所述扭力傳感器設置在U型凹槽側壁上。

進一步的，所述驅動電機為弱電驅動電機。

有益效果：本實用新型的齒輪和傳動軸均為一體式設置，且連接方式為花鍵連接，相比現有的平鍵連接提高了傳動的穩定性，增加了設備的使用壽命，法蘭盤內設置有法蘭腔板和扭力傳感器，可以提升傳動穩定性和檢測扭矩的變化，而且設備采用弱電驅動，安全可靠，設備體積小、操作簡單。

附圖說明

附圖1為本實用新型的整體結構示意圖；

附圖2為本實用新型的減速器傳動示意圖；

附圖3為本實用新型的第一傳動軸結構示意圖；

附圖4為本實用新型的法蘭盤結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作更進一步的說明。

如附圖1，一種電機控制裝置，包括機體1、控制器3、驅動電機2、減速器6和法蘭盤8，所述所述控制器3設置在機體1內，所述機體1內還設置有驅動電機2，所述控制器3與驅動電機2電性連接，所述驅動電機2的動力輸出端設置有減速器6，所述減速器6的動力輸出端設置有法蘭盤8，所述法蘭盤8與外接載體連接設置。所述驅動電機2為弱電驅動電機。在機體1的上方設置有正反轉開關4和電源控制開關5，在減速器的上方還設置有防塵蓋7。

如附圖2，所述減速器6包括第一傳動軸60、第二傳動軸64和第三傳動軸66，所述第一傳動軸60與第三傳動軸66位于同一直線上，所述第二傳動軸64設置在減速器機體上，且第二傳動軸64與第一傳動軸60垂直設置；所述第一傳動軸60的一端與驅動電機2的動力輸出端連接設置，另一端包含有第一螺旋錐齒輪61，所述第二傳動軸64上包含有第二螺旋錐齒輪62和第三螺旋錐齒輪63，所述第三傳動軸66一端包含有第四螺旋錐齒輪65，另一端與法蘭盤8連接設置，所述第一螺旋錐齒輪61與第二螺旋錐齒輪62嚙合傳動設置，所述第三螺旋錐齒輪63與第四螺旋錐齒輪65嚙合傳動設置；所述螺旋錐齒輪與對應的傳動軸均為一體式設置。所述螺旋錐齒輪的螺旋角度均為12°～20°。此角度下的螺旋錐齒輪傳動效率最好，承載力較大，且傳動噪音低。