[實用新型]一種嵌套式磁控濺射鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201720645384.1
• 申請日: 2017-06-06
• 公開（公告）號: CN207079277U
• 公開（公告）日: 2018-03-09
• 發明（設計）人: 潘中海;司榮美;劉彩風
• 申請（專利權）人: 天津寶興威科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 天津市新天方有限責任專利代理事務所12104
• 代理人: 張強

1.一種嵌套式磁控濺射鍍膜裝置，其特征在于，包括腔體(1)、活動密封門(3)、靶體(2)和支架(13)，所述腔體(1)為橫置的且一側底部缺失圓柱形腔體，所述靶體(2)為柱體，所述靶體(2)橫置于所述腔體(1)的內部中心，且所述靶體(2)的一端設有靶頭，所述靶頭上伸出有轉軸(11)，所述轉軸(11)穿出所述腔體(1)的底部之外與外接電機相連接，且所述轉軸(11)與所述腔體(1)的底部之間安裝有軸承一，

所述活動密封門(3)安裝于所述腔體(1)的底部缺失的一側，所述活動密封門(3)的內側中心設有與所述靶體(2)的另一端相對應的底座(6)，所述活動密封門(3)的內側表面沿圓周均布有多個基片安裝插孔(14)，每個所述基片安裝插孔(14)的長度方向與其所在的圓周的切線方向一致，所述基片安裝插孔(14)的外圍沿圓周均布有多個遮蔽罩插孔(12)，每個所述遮蔽罩插孔(12)的長度方向與其所在的圓周的切線方向一致，且每個所述遮蔽罩插孔(12)與兩個相鄰的所述基片安裝插孔(14)之間的空隙相對應，所述基片安裝插孔(14)中可拆卸地裝有基片安裝板(4)，所述基片安裝板(4)上裝有基片(5)，所述遮蔽罩插孔(12)中可拆卸地裝有遮蔽板，

所述活動密封門(3)的外側表面中心安裝有支撐桿(8)，所述支撐桿(8)與所述活動密封門(3)之間安裝有軸承二(7)，

所述支架(13)位于所述腔體(1)下方，所述支架(13)上設有軌道(9)，所述支撐桿(8)的底部安裝于所述軌道(9)上，所述支撐桿(8)能夠在所述軌道(9)上滑動，

所述腔體(1)上設有進氣口和抽真空口。

2.根據權利要求1所述的一種嵌套式磁控濺射鍍膜裝置，其特征在于，所述腔體(1)與所述支架(13)之間設有托架(10)。

3.根據權利要求2所述的一種嵌套式磁控濺射鍍膜裝置，其特征在于，所述活動密封門(3)與所述腔體(1)之間設有密封鎖。