[實用新型]一種差動式變極距垂直電極型電容傳感器

有效

• 申請號: 201720634875.6
• 申請日: 2017-06-02
• 公開（公告）號: CN207180706U
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 潘海鴻;羅年景;陳琳
• 申請（專利權）人: 廣西安博特智能科技有限公司
• 主分類號: G01D5/241
• 分類號: G01D5/241
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種差動式變極距垂直電極型電容傳感器，其特征在于：它至少包括一對感應電容的靜電極(1)與一個感應電容的動電極(2)；所述一對感應電容的靜電極(1)關于感應電容的動電極(2)垂直對稱分布且分別與感應電容的動電極(2)保留有一定初始間隙，形成差動式結構垂直電極型電容器。

2.根據權利要求1所述的一種差動式變極距垂直電極型電容傳感器，其特征在于：所述的感應電容的靜電極(1)由多個金屬片(3)并聯組成；提高了垂直電極型電容傳感器的靈敏度。

3.根據權利要求2所述的一種差動式變極距垂直電極型電容傳感器，其特征在于：所述多個金屬片(3)之間充滿絕緣介質(4)且多個金屬片(3)之間通過金屬連接。

4.根據權利要求1所述的一種差動式變極距垂直電極型電容傳感器，其特征在于：所述差動式結構垂直電極型電容器，當感應電容的動電極(2)沿感應電容的靜電極(1)方向移動時，其中一個感應電容的靜電極(1)與感應電容的動電極(2)極距改變Δh，則另一個感應電容的靜電極(1)與感應電容的動電極(2)極距改變-Δh，對應的電容量分別為C₁與C₂，以電容量差值C₁-C₂作為輸出信號，提高了垂直電極型電容傳感器的靈敏度，同時提高了傳感器的線性度。