[實用新型]用于曝光機的對準調節系統

有效

• 申請號: 201720632038.X
• 申請日: 2017-06-02
• 公開（公告）號: CN207081942U
• 公開（公告）日: 2018-03-09
• 發明（設計）人: 石峰;石利
• 申請（專利權）人: 無錫旭電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 無錫市朗高知識產權代理有限公司32262
• 代理人: 趙華

技術領域

本實用新型涉及曝光機裝置，具體的說是用于基板曝光的基板對準系統，實現基板與菲林片的對位。

背景技術

曝光機在電機科技產品上得到廣泛的應用，主要用于將負載在菲林片上的電路圖復制轉移到基板上的鍍銅層上，為保證產品的良率，菲林片必須與基板進行對位，一旦基板出現位置上的偏差都會影響到電路圖在基板上的成型。

實用新型內容

本實用新型用于曝光機的對準調節系統，實現菲林片的定位，提高了生產效率，本實用新型是通過下述技術方案解決上述技術問題的：本實用新型包括：CCD攝像模塊、蓋板、底板、調角裝置，所述CCD攝像模塊位于蓋板上方，所述蓋板上活動疊加于底板上，將菲林片、基板置于蓋板與底板之間，所述蓋板與底板上都設置有對位標記，所述調角裝置活動安裝于底板底部，用于調節底板和菲林片角度，實現底板、基板、菲林片與蓋板上對位標記的一一對應。

優選的，還包括有工控機，所述工控機與CCD攝像模塊、調角裝置連接，用于獲取底板、菲林片、基板與蓋板之間的對位信息，并利用調角裝置進行底板的調角，帶動菲林片調角，實現底板、菲林片、基板與蓋板之間的定位調節。

優選的，所述調角裝置包括：X調節電機、X調節導軌、Y調節電機以及Y調節導軌，X、Y調節電機驅動底板沿著X、Y調節導軌進行X、Y方向的直線運動和XY平面內的角度調節。

優選的，還包括有：底座，所述調角裝置固定安裝于底座上，所述底座安裝于導軌Ⅰ上，底座可在導軌Ⅰ上滑動并帶動調角裝置、蓋板、底板運動。

優選的，所述CCD攝像模塊包括有：獨立的至少兩個CCD攝像頭，CCD攝像頭安裝于上下汽缸上，實現垂直運動；上下汽缸以及CCD攝像頭安裝于導軌Ⅱ上，實現水平面內的直線運動。

優選的，還包括有抽真空裝置，用于將蓋板與底板之間的菲林片環境抽真空，保證菲林片與基板之間的真空環境。

有益效果：本實用新型利用四個獨立的CCD攝像頭進行圖像信息采集并通過通信串口傳輸到PLC，PLC能夠直觀的得到菲林片與基板對準情況，當菲林片與基板位置出現偏差時，PLC控制X、Y調節電機工作，實現底板發生X、Y方向直線運動或者XY平面內旋轉，本裝置實現自動化調整，準確度高，操作性強。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型關于圖1的側視圖；

圖3為本實用新型關于調角裝置的結構示意圖；

圖中，1、CCD攝像模塊；2、蓋板；3、底板；4、菲林片；5、調角裝置，501、X調節電機，502、Y調節電機；6、底座；7、導軌Ⅰ；

8、導軌Ⅱ。

具體實施方式

以下是本實用新型的具體實施例并結合附圖，對本實用新型的技術方案作進一步的描述，但本實用新型并不限于這些實例。

如圖1所示可知，本實用新型包括有：CCD攝像模塊、蓋板、底板、調角裝置，所述CCD攝像模塊位于蓋板上方，所述蓋板上活動疊加于底板上，將菲林片置于蓋板與底板之間，所述蓋板與底板上都設置有對位標記，所述調角裝置活動安裝于底板底部，用于調節底板和菲林片角度，實現底板、菲林片、基板與蓋板上對位標記的一一對應，確切的說是，在菲林片、基板、底板以及蓋板上都設置有至少兩個十字標或者圓孔，十字標或圓孔非重合時表明菲林片、基板之間有偏差，需要對菲林片或基板進行重新調整，確切的說是利用對底板的調節實現基板的調整，蓋板選用透光材質的玻璃材料，蓋板蓋住菲林片、基板時不影響對位標記的顯現。

優選的，還包括有工控機，所述工控機與CCD攝像模塊、調角裝置連接，用于獲取底板、基板、菲林片與蓋板之間的對位信息，并利用調角裝置進行底板的調角，帶動菲林片調角，實現底板、基板、菲林片與蓋板之間的定位調節，所述工控機可為PLC控制器，CCD攝像模塊通過通信串口與PLC控制器連接，用于將信息傳輸給PLC控制器。

如圖3所示，所述調角裝置包括：X調節電機、X調節導軌、Y調節電機以及Y調節導軌，X、Y調節電機驅動底板沿著X、Y調節導軌進行X、Y方向的直線運動和XY平面內的角度調節。

如圖2、3所示，還包括有：底座，所述調角裝置固定安裝于底座上，所述底座安裝于導軌Ⅰ上，底座可在導軌Ⅰ上滑動并帶動調角裝置、蓋板、底板運動。