[實(shí)用新型]一種利用鑄錠爐余熱的清洗系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720631229.4 | 申請(qǐng)日: | 2017-05-18 |
| 公開(公告)號(hào): | CN206854234U | 公開(公告)日: | 2018-01-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 黃賢強(qiáng);沈達(dá)軍;趙芷綺;張?zhí)K州;栗學(xué)華;郭見英;何建軍 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 浙江溢閎光電科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | B08B3/10 | 分類號(hào): | B08B3/10;F27D9/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 314302 浙江*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 利用 鑄錠 余熱 清洗 系統(tǒng) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于多晶硅生產(chǎn)工藝領(lǐng)域,尤其涉及一種利用鑄錠爐余熱的清洗系統(tǒng)。
背景技術(shù)
多晶硅料的表層含有很多非硅材料,在鑄錠爐中會(huì)影響晶體的生長(zhǎng),因而在將多晶硅料投入鑄錠爐中前需要對(duì)多晶硅料進(jìn)行清洗。清洗過程一般包括酸洗和水洗,用酸洗將多晶硅料表層的非硅材料去除,用水洗將殘留的酸液去除。傳統(tǒng)的水洗的方式為將經(jīng)酸洗后的多晶硅料放入水池中浸泡清洗,若采用冷水浸泡,由于活性差,去酸的能力較低,浸泡時(shí)間長(zhǎng)且浪費(fèi)的水量大。經(jīng)過驗(yàn)證,浸泡的水溫在38~40℃的溫度時(shí),其去酸效果最好。
鑄錠爐在工作時(shí),爐體內(nèi)的溫度可以高達(dá)1500℃左右,在工作時(shí)需要降溫。申請(qǐng)人針對(duì)鑄錠爐需要降溫以及用于浸泡去酸的最佳水溫在38~40℃的事實(shí),設(shè)計(jì)了一種利用鑄錠爐余熱的清洗系統(tǒng),即給鑄錠爐降了工作溫度,得到了38~40℃浸泡用水,節(jié)省了浸泡時(shí)間,減少了水資源的浪費(fèi)。
發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述的技術(shù)問題,本實(shí)用新型的目的是提供一種利用鑄錠爐余熱的清洗系統(tǒng),即給鑄錠爐降了工作溫度,得到了38~40℃浸泡用水,節(jié)省了浸泡時(shí)間,減少了水資源的浪費(fèi)。
為了實(shí)現(xiàn)上述的目的,本實(shí)用新型采用了以下的技術(shù)方案:
一種利用鑄錠爐余熱的清洗系統(tǒng),包括鑄錠爐、浸泡清洗池以及板式換熱器,所述鑄錠爐的內(nèi)壁設(shè)置有盤管,所述盤管的進(jìn)出水口穿透鑄錠爐爐壁露于鑄錠爐外部,所述浸泡清洗池與盤管的進(jìn)水口之間連接有進(jìn)水管道,所述進(jìn)水管道上設(shè)置有第一水泵,在盤管的出水口與板式換熱器之間設(shè)置有出水管道;所述板式換熱器包括熱水管道、冷水管道以及換熱片,所述換熱片緊貼熱水管道和冷水管道設(shè)置,出水管道與熱水管道的進(jìn)水口相連,熱水管道的出水口與浸泡清洗池之間連接有回水管道。將浸泡清洗池里的水通過第一水泵及進(jìn)水管道不停輸送至鑄錠爐爐體內(nèi)的盤管,有效降低鑄錠爐的爐溫,加熱后的高溫水通過板式換熱器換熱后得到38~40攝氏度的水流回浸泡清洗池內(nèi),對(duì)放置在浸泡清洗池的多晶硅料進(jìn)行浸泡去酸工作,本實(shí)用新型即降低了工作爐溫,又節(jié)省了多晶硅料的浸泡時(shí)間,減少了水資源的浪費(fèi)。
作為優(yōu)選,所述盤管由一整根金屬管盤繞彎折而成,包括柱狀盤管以及位于柱狀盤管底部的平面盤管,所述柱狀盤管緊貼鑄錠爐側(cè)壁設(shè)置,平面盤管緊貼鑄錠爐的爐底設(shè)置。
作為優(yōu)選,所述盤管通過設(shè)置支架與鑄錠爐之間完成固定。
作為優(yōu)選,所述支架有四根且均呈Z形,所述的支架一端固定在鑄錠爐的內(nèi)側(cè)壁上,另一端固定在鑄錠爐的爐底。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:將浸泡清洗池里的水通過第一水泵及進(jìn)水管道不停輸送至鑄錠爐爐體內(nèi)的盤管,有效降低鑄錠爐的爐溫,加熱后的高溫水通過板式換熱器換熱后得到38~40攝氏度的水流回浸泡清洗池內(nèi),對(duì)放置在浸泡清洗池的多晶硅料進(jìn)行浸泡去酸工作,本實(shí)用新型既降低了工作爐溫,又節(jié)省了多晶硅料的浸泡時(shí)間,減少了水資源的浪費(fèi)。
附圖說明
圖1是本實(shí)用新型的工作框圖。
圖2是盤管的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式做一個(gè)詳細(xì)的說明。
如圖1~圖2所示的一種利用鑄錠爐余熱的清洗系統(tǒng),包括鑄錠爐1、浸泡清洗池2以及板式換熱器3,所述鑄錠爐1的內(nèi)壁設(shè)置有盤管4,所述盤管4的進(jìn)出水口穿透鑄錠爐1爐壁露于鑄錠爐1外部,所述浸泡清洗池2與盤管4的進(jìn)水口之間連接有進(jìn)水管道5,所述進(jìn)水管道5上設(shè)置有第一水泵6,在盤管4的出水口與板式換熱器3之間設(shè)置有出水管道7;所述板式換熱器3包括熱水管道(圖上未標(biāo)示)、冷水管道8以及換熱片(圖上未標(biāo)示),所述換熱片(圖上未標(biāo)示)緊貼熱水管道(圖上未標(biāo)示)和冷水管道8設(shè)置,出水管道7與熱水管道(圖上未標(biāo)示)的進(jìn)水口相連,熱水管道的出水口與浸泡清洗池2之間連接有回水管道9。盤管4由一整根金屬管盤繞彎折而成,包括柱狀盤管41以及位于柱狀盤管41底部的平面盤管42,所述柱狀盤管41緊貼鑄錠爐1側(cè)壁設(shè)置,平面盤管42緊貼鑄錠爐1的爐底設(shè)置。盤管4通過設(shè)置支架43與鑄錠爐1之間完成固定。支架43有四根且均呈Z形,所述的支架43一端固定在鑄錠爐1的內(nèi)側(cè)壁上,另一端固定在鑄錠爐1的爐底。
其工作過程如下:將浸泡清洗池里的水通過第一水泵及進(jìn)水管道不停輸送至鑄錠爐爐體內(nèi)的盤管,有效降低鑄錠爐的爐溫,加熱后的高溫水通過板式換熱器換熱后得到38~40攝氏度的水流回浸泡清洗池內(nèi),對(duì)放置在浸泡清洗池的多晶硅料進(jìn)行浸泡去酸工作。
本實(shí)用新型即降低了工作爐溫,又節(jié)省了多晶硅料的浸泡時(shí)間,減少了水資源的浪費(fèi)。
本說明書中所描述的以上內(nèi)容僅僅是對(duì)本實(shí)用新型所作的舉例說明。本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類似的方式替代,只要不偏離本實(shí)用新型說明書的內(nèi)容或者超越本權(quán)利要求書所定義的范圍,均應(yīng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
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