[實用新型]一種粉塵過濾芯自動清理系統

有效

• 申請號: 201720629600.3
• 申請日: 2017-06-01
• 公開（公告）號: CN207153290U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 王亮
• 申請（專利權）人: 鎵特半導體科技（上海）有限公司
• 主分類號: B01D46/00
• 分類號: B01D46/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙)31219
• 代理人: 唐棉棉

技術領域

本實用新型屬于HVPE設備領域，特別是涉及一種粉塵過濾芯自動清理系統。

背景技術

III族氮化物半導體薄膜材料，特別是寬禁帶直接帶隙的氮化鎵(GaN)，作為第三代半導體材料的典型代表，具有高熱導、高電子遷移率、高擊穿電壓及抗輻射等優異的性能，在制造高頻、高溫、大功率的光電子器件等方面具有巨大的應用前景。目前，GaN單晶的主要制備方法有：分子束外延法(MBE)、高壓溶液法、金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)法、氫化物氣相外延(HVPE，Hydride Vapor Phase Epitaxy)法等。在多種GaN的生產技術中，HVPE是一種比較經典的常壓化學氣相沉積技術，其生長速率較快，一般可以達到300μm/h，生長工藝較為簡單，可以生長較厚的GaN層等顯著優點，十分適合制備自支撐氮化物襯底材料。

氫化物氣相外延設備為化合物生長工藝設備，主要用于在高溫環境下通過如H₂、HCl等氫化物氣體，使襯底表面外延生長一層如GaAs、GaN等的厚膜或晶體。由于本工藝生產過程中氣體在通過過濾器時，氣體中攜帶的大量粉末會被吸附在過濾芯之上，從而造成過濾芯很容易被堵塞，導致生產周期變短，兩三天就要做停機清理濾芯及更換，而清理過于頻繁，又會使過濾芯的使用壽命大大縮短，既增加了人力成本又增加生產成本。

因此，提供一種粉塵過濾芯自動清理系統實屬必要。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種粉塵過濾芯自動清理系統，用于解決現有技術過濾器中的過濾芯在工藝過程中很容易被堵塞，導致需要勤清理及更換、使用壽命縮短等問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種粉塵過濾芯自動清理系統，用于給過濾器中的過濾芯進行粉塵清理，所述粉塵過濾芯自動清理系統至少包括：隔離板、密封艙、升降系統以及清理刷；

所述隔離板固定在所述過濾器的外殼上；

所述密封艙固定在所述過濾器的外殼上且通過所述隔離板與所述過濾器隔離；

所述升降系統安裝在所述密封艙中；

所述清理刷包括刷體和刷柄，所述刷體與所述過濾芯接觸，所述刷柄一端與所述刷體連接、另一端穿過所述隔離板與所述升降系統連接，所述清理刷在所述升降系統的驅動下作升降運動，實現除塵。

作為本實用新型粉塵過濾芯自動清理系統的一種優化的結構，所述隔離板包括隔離框和設在所述隔離框兩側的隔離刷，兩側的所述隔離刷之間容納所述刷柄。

作為本實用新型粉塵過濾芯自動清理系統的一種優化的結構，所述隔離板包括隔離框和設在所述隔離框上的彈性隔離片，所述彈性隔離片上設置有縫隙，所述刷柄穿過所述縫隙且能在所述縫隙中作升降運動。

作為本實用新型粉塵過濾芯自動清理系統的一種優化的結構，所述隔離板包括隔離框和設在所述隔離框上的折疊結構，所述刷柄穿過所述折疊結構并與所述折疊結構固定。

作為本實用新型粉塵過濾芯自動清理系統的一種優化的結構，所述密封艙具有一開口，所述密封艙通過所述開口處的密封圈與所述過濾器外殼密封連接，所述過濾器中安裝有1～20個所述過濾芯。

作為本實用新型粉塵過濾芯自動清理系統的一種優化的結構，所述密封艙的開口邊緣上設有凹槽，所述密封圈壓實在所述凹槽中，并與所述過濾器密封連接。

作為本實用新型粉塵過濾芯自動清理系統的一種優化的結構，所述密封艙上還設置有保護氣體通入口。

作為本實用新型粉塵過濾芯自動清理系統的一種優化的結構，所述升降系統包括電機、第一軸承、第二軸承、固定平臺、支撐桿、底座、螺旋桿以及升降架；

所述第一軸承由所述電機驅動旋轉，并且所述第一軸承通過一驅動皮帶進而驅動第二軸承旋轉；

所述固定平臺固定在所述密封艙的內壁上；

所述支撐桿支撐在所述底座和所述固定平臺之間，用于活動連接所述升降架；

所述螺旋桿具有外部螺紋，所述螺旋桿穿過所述固定平臺并且所述螺旋桿的底端由所述底座支撐，所述螺旋桿通過所述第二軸承旋轉；

所述升降架套接在所述螺旋桿的外部螺紋上，并且所述升降架與所述刷柄固定連接，通過所述外部螺紋的旋轉，從而驅動升降架以及刷柄做升降運動。

作為本實用新型粉塵過濾芯自動清理系統的一種優化的結構，所述刷體包括刷框和刷毛，所述刷毛固定在所述刷框上且所述刷毛將所述過濾芯全包圍，所述刷框和所述刷柄固定。

作為本實用新型粉塵過濾芯自動清理系統的一種優化的結構，所述刷框上還固定有橡膠刮片，所述橡膠刮片和所述刷毛疊加，實現除塵。