[實用新型]反應腔室

有效

• 申請號: 201720625747.5
• 申請日: 2017-06-01
• 公開（公告）號: CN207074638U
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發明（設計）人: 肖德志;琚里
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/244
• 分類號: H01J37/244;H01L21/66
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司11112
• 代理人: 彭瑞欣,張天舒

1.一種反應腔室，在其內設置有用于承載晶片的卡盤，其特征在于，所述反應腔室還包括：用于檢測所述晶片表面狀態的散斑干涉檢測裝置；

所述散斑干涉檢測裝置包括光源、光電轉換器和處理器；

所述光源輸出的光信號分為物光和參考光；

所述物光發射至所述晶片的表面并反射至所述光電轉換器，所述參考光直接發射至所述光電轉換器；

所述光電轉換器，用于將接收到的所述物光和所述參考光的光信號轉換為電信號并發送至所述處理器；

所述處理器，用于基于所述電信號獲得散斑干涉條紋，以根據所述散斑干涉條紋判斷所述晶片的狀態。

2.根據權利要求1所述的反應腔室，其特征在于，所述散斑干涉檢測裝置還包括輸入透鏡組件和輸出透鏡組件；

所述輸入透鏡組件包括第一透鏡組件和第二透鏡組件；

所述輸出透鏡組件包括第三透鏡組件；

所述第一透鏡組件和所述第二透鏡組件設置在所述反應腔室的第一側壁上；

所述第三透鏡組件設置在所述反應腔室與所述第一側壁相對的第二側壁上；

所述物光經過所述第一透鏡組件發射至所述晶片的表面且反射后經過所述第三透鏡組件到達所述光電轉換器；

所述參考光經過所述第二透鏡組件和所述第三透鏡組件發射至所述光電轉換器。

3.根據權利要求2所述的反應腔室，其特征在于，所述散斑干涉檢測裝置還包括遮光筒，所述第三透鏡組件的出光路徑被限制在所述遮光筒內，所述遮光筒固定在所述反應腔室的第二側壁上，用于使經過所述第三透鏡組件的所述物光和所述參考光在所述遮光筒內到達所述光電轉換器。

4.根據權利要求1所述的反應腔室，其特征在于，所述散斑干涉檢測裝置還包括輸入透鏡；

所述輸入透鏡設置在所述反應腔室的頂壁上，且正對所述晶片的位置，所述物光經過所述輸入透鏡發射至所述晶片的表面且反射后再次經過所述輸入透鏡到達所述光電轉換器。

5.根據權利要求4所述的反應腔室，其特征在于，所述散斑干涉檢測裝置還包括輸出透鏡和遮光筒，所述輸出透鏡設置在所述遮光筒內，所述遮光筒獨立于所述反應腔室設置，所述物光和所述參考光經過所述輸出透鏡在所述遮光筒內到達所述光電轉換器。

6.根據權利要求5所述的反應腔室，其特征在于，所述散斑干涉檢測裝置還包括：具有兩路單輸入單輸出通道的輔助光纖耦合器；

所述輔助光纖耦合器，用于將所述物光經過第一路單輸入單輸出通道到達所述輸入透鏡；并使自所述輸入透鏡反射回來的物光經過第二路單輸入單輸出通道到達所述輸出透鏡。

7.根據權利要求1所述的反應腔室，其特征在于，所述光源包括單色光源、白色光源或微波光源。

8.根據權利要求1所述的反應腔室，其特征在于，

所述散斑干涉檢測裝置還包括輸入光纖耦合器；

所述光源與所述輸入光纖耦合器相連，所述光源輸出的光信號經過所述輸入光纖耦合器之后分為所述物光和所述參考光。

9.根據權利要求8所述的反應腔室，其特征在于，所述輸入光纖耦合器為單輸入雙輸出的光纖耦合器，其輸入端與所述光源相連；一個輸出端用于輸出所述物光，另一個輸出端用于輸出所述參考光。