[實(shí)用新型]反應(yīng)腔室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720625747.5
• 申請(qǐng)日: 2017-06-01
• 公開（公告）號(hào): CN207074638U
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖德志;琚里
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/244
• 分類號(hào): H01J37/244;H01L21/66
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11112
• 代理人: 彭瑞欣,張?zhí)焓?/td>

1.一種反應(yīng)腔室，在其內(nèi)設(shè)置有用于承載晶片的卡盤，其特征在于，所述反應(yīng)腔室還包括：用于檢測(cè)所述晶片表面狀態(tài)的散斑干涉檢測(cè)裝置；

所述散斑干涉檢測(cè)裝置包括光源、光電轉(zhuǎn)換器和處理器；

所述光源輸出的光信號(hào)分為物光和參考光；

所述物光發(fā)射至所述晶片的表面并反射至所述光電轉(zhuǎn)換器，所述參考光直接發(fā)射至所述光電轉(zhuǎn)換器；

所述光電轉(zhuǎn)換器，用于將接收到的所述物光和所述參考光的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)并發(fā)送至所述處理器；

所述處理器，用于基于所述電信號(hào)獲得散斑干涉條紋，以根據(jù)所述散斑干涉條紋判斷所述晶片的狀態(tài)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述散斑干涉檢測(cè)裝置還包括輸入透鏡組件和輸出透鏡組件；

所述輸入透鏡組件包括第一透鏡組件和第二透鏡組件；

所述輸出透鏡組件包括第三透鏡組件；

所述第一透鏡組件和所述第二透鏡組件設(shè)置在所述反應(yīng)腔室的第一側(cè)壁上；

所述第三透鏡組件設(shè)置在所述反應(yīng)腔室與所述第一側(cè)壁相對(duì)的第二側(cè)壁上；

所述物光經(jīng)過所述第一透鏡組件發(fā)射至所述晶片的表面且反射后經(jīng)過所述第三透鏡組件到達(dá)所述光電轉(zhuǎn)換器；

所述參考光經(jīng)過所述第二透鏡組件和所述第三透鏡組件發(fā)射至所述光電轉(zhuǎn)換器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述散斑干涉檢測(cè)裝置還包括遮光筒，所述第三透鏡組件的出光路徑被限制在所述遮光筒內(nèi)，所述遮光筒固定在所述反應(yīng)腔室的第二側(cè)壁上，用于使經(jīng)過所述第三透鏡組件的所述物光和所述參考光在所述遮光筒內(nèi)到達(dá)所述光電轉(zhuǎn)換器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述散斑干涉檢測(cè)裝置還包括輸入透鏡；

所述輸入透鏡設(shè)置在所述反應(yīng)腔室的頂壁上，且正對(duì)所述晶片的位置，所述物光經(jīng)過所述輸入透鏡發(fā)射至所述晶片的表面且反射后再次經(jīng)過所述輸入透鏡到達(dá)所述光電轉(zhuǎn)換器。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述散斑干涉檢測(cè)裝置還包括輸出透鏡和遮光筒，所述輸出透鏡設(shè)置在所述遮光筒內(nèi)，所述遮光筒獨(dú)立于所述反應(yīng)腔室設(shè)置，所述物光和所述參考光經(jīng)過所述輸出透鏡在所述遮光筒內(nèi)到達(dá)所述光電轉(zhuǎn)換器。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述散斑干涉檢測(cè)裝置還包括：具有兩路單輸入單輸出通道的輔助光纖耦合器；

所述輔助光纖耦合器，用于將所述物光經(jīng)過第一路單輸入單輸出通道到達(dá)所述輸入透鏡；并使自所述輸入透鏡反射回來的物光經(jīng)過第二路單輸入單輸出通道到達(dá)所述輸出透鏡。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述光源包括單色光源、白色光源或微波光源。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，

所述散斑干涉檢測(cè)裝置還包括輸入光纖耦合器；

所述光源與所述輸入光纖耦合器相連，所述光源輸出的光信號(hào)經(jīng)過所述輸入光纖耦合器之后分為所述物光和所述參考光。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述輸入光纖耦合器為單輸入雙輸出的光纖耦合器，其輸入端與所述光源相連；一個(gè)輸出端用于輸出所述物光，另一個(gè)輸出端用于輸出所述參考光。