[實用新型]MEMS設備、投射MEMS系統以及便攜式電子裝置

有效

• 申請號: 201720623732.5
• 申請日: 2017-05-31
• 公開（公告）號: CN207318836U
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發明（設計）人: R·卡爾米納蒂;D·朱斯蒂;S·克斯坦蒂尼
• 申請（專利權）人: 意法半導體股份有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;B81B7/02
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所11256
• 代理人: 王茂華,呂世磊

1.一種MEMS設備，其特征在于，包括固定的結構(22)，所述固定的結構界定了腔體(24)；以及懸置的結構(26)，所述懸置的結構覆蓋所述腔體并且包括：

-內部結構(29；109)；以及

-至少一個第一臂(B1)以及一個第二臂(B2)，所述第一臂和所述第二臂被安排在所述內部結構周圍并且各自具有對應第一端和對應第二端，所述第一端被固定至所述固定的結構并且相隔一定距離成角度地安排，所述第二端被固定至所述內部結構，相隔一定距離成角度地安排并且相對于相應第一端在同一旋轉方向上成角度地安排；以及

-多個壓電致動器(50，52，54，56)，所述壓電致動器中的每一個耦合至所述第一臂或耦合至所述第二臂，并且可被驅動以便引起其所耦合至的臂的變形以及所述內部結構的隨后旋轉；

并且其中，在靜止狀況下，所述第一臂和所述第二臂中的每一個具有帶有對應凹陷的對應細長部分(30，32)，所述內部結構在所述第一臂和所述第二臂的所述細長部分的所述凹陷內部分地延伸。

2.根據權利要求1所述的MEMS設備，其特征在于，在靜止狀況下，所述第一臂(B1)和所述第二臂(B2)在所述內部結構(29；109)周圍在至少部分偏移的并且具有包括在區間[65°，175°]內的幅度的角域上延伸。

3.根據權利要求2所述的MEMS設備，其特征在于，所述第一臂(B1)和所述第二臂(B2)的所述角域不相交。

4.根據權利要求1所述的MEMS設備，其特征在于，所述第一臂(B1)和所述第二臂(B2)的所述第二端以180°的角距離安排。

5.根據權利要求1所述的MEMS設備，其特征在于，所述第一臂(B1)和所述第二臂(B2)的所述第一端以180°的角距離安排。

6.根據權利要求1所述的MEMS設備，其特征在于，在靜止狀況下，所述第一臂的細長部分和所述第二臂的細長部分各自形成單個凹陷。

7.根據權利要求6所述的MEMS設備，其特征在于，所述第一臂的細長部分和所述第二臂的細長部分中的每一個具有對應對稱線，所述對稱線具有以單調方式成角度變化的曲率半徑。

8.根據權利要求6所述的MEMS設備，其特征在于，所述第一臂的細長部分和所述第二臂的細長部分中的每一個的寬度在所述相應臂(B1，B2)的所述第二端的方向上減小。

9.根據權利要求6所述的MEMS設備，其特征在于，所述第一臂的細長部分和所述第二臂的細長部分分別形成所述第一臂(B1)和所述第二臂(B2)的所述第一端；并且其中，所述第一臂和所述第二臂進一步分別包括第一端子部分(31)和第二端子部分(33)，所述第一端子部分和第二端子部分分別形成所述第一臂和所述第二臂的所述第二端；并且其中，所述第一端子部分和所述第二端子部分分別連接至所述第一臂的細長部分和所述第二臂的細長部分的相應部分并且形成具有單個凹陷的彎曲突出，其中，凹陷面向所述內部結構(29；109)，所述彎曲突出相對于所述第一臂的細長部分和所述第二臂的細長部分的所述部分徑向地突出。

10.根據權利要求1所述的MEMS設備，其特征在于，所述壓電致動器(50，52，54，56)中的每一個被安排在其所耦合至的臂(B1，B2)的所述細長部分上。

11.根據權利要求10所述的MEMS設備，其特征在于，包括第一壓電致動器(50)、第二壓電致動器(52)、第三壓電致動器(54)以及第四壓電致動器(56)，所述第一壓電致動器和所述第三壓電致動器被安排在所述第一臂(B1)的所述細長部分上，所述第二壓電致動器和所述第四壓電致動器以分別對稱于所述第一壓電致動器和所述第二壓電致動器的方式被安排在所述第二臂(B2)的所述細長部分上。

12.根據權利要求1所述的MEMS設備，其特征在于，進一步包括第三臂(B3)和第四臂(B4)，所述第三臂和所述第四臂中的每一個包括對應細長部分，所述對應細長部分中的每一個具有對應凹陷；并且其中，在靜止狀況下，所述第一臂和所述第二臂的所述細長部分(30，32)至少部分地在分別由所述第三臂和所述第四臂的所述細長部分形成的所述凹陷內延伸。