[實用新型]光學實驗平臺

有效

• 申請號: 201720609892.4
• 申請日: 2017-05-27
• 公開（公告）號: CN207036393U
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發明（設計）人: 陶雄兵;周欣
• 申請（專利權）人: 東莞市盛雄激光設備有限公司
• 主分類號: G01M11/04
• 分類號: G01M11/04;B01L9/02
• 代理公司: 東莞市華南專利商標事務所有限公司44215
• 代理人: 劉克寬

技術領域

本實用新型涉及激光器測試領域，具體涉及一種光學實驗平臺。

背景技術

微細微電子行業常常涉及到貼片電感陶瓷、PCB板的切割、鉆孔、蝕刻、劃片，包括半導體微電子行業TSV工藝微細鉆孔和半導體微電子行業TSV工藝微細鉆孔等等普遍使用的是皮秒、飛秒激光器來完成在這個過程中經常需要對反射鏡、激光光源、振鏡等先關組件的測試?，F有技術只能通過單獨檢測各個組件的相關參數，將其與標準進行對比來判斷各個組件是否存在問題，不僅操作步驟比較麻煩，而且很難快速確定誤差出現在哪一個具體的組件上，增加了測試成本，并且測試效率較低。

實用新型內容

本實用新型的目的在于針對現有技術中的不足，而提供一種光學實驗平臺，其具有結構簡單、靈活方便、能夠快速確定誤差所在的優點，提高了對激光器的測試效率，降低了測試成本。

本實用新型的目的通過以下技術方案實現：

光學實驗平臺，包括測試臺、龍門架、下反射裝配體、平行反射裝配體、折返上行光路組件和激光器，所述龍門架固定于所述測試臺上，龍門架上固定有光路底板，光路底板上設有下反射裝配體和平行反射裝配體，下反射裝配體連接激光頭，測試臺上還設有激光器，該激光器發射出的激光依次經過折返上行光路組件、平行反射裝配體、下反射裝配體進入激光頭中進行加工工作。

其中， 龍門架上設有兩組相互平行的光路底板，每一組光路底板對應連接有一個激光頭。

其中，平行反射裝配體包括平行反射固定板、鏡架、固定于所述鏡架的反射鏡裝配體和固定于所述平行反射固定板的偏振鏡架，所述反射鏡裝配體對準所述偏振鏡架。

其中，偏振鏡架下方還設有偏振架墊塊。

其中，下反射裝配體包括下反射體固定板、固定于所述下反射體固定板的擴束鏡裝配體和下反射調整板，所述下反射調整板上還設有鏡架裝配體，擴束鏡裝配體上裝設的擴束鏡對準所述鏡架裝配體。

其中，折返上行光路組件包括條狀折返固定板，其兩端分別設有鏡架固定架，鏡架固定架上固定有鏡架固定架。

本實用新型的有益效果：

將一個完整的激光組件設置于測試臺上，需要對相關光學組件進行測試時，只需要使用待組件替換掉該光學實驗平臺中的相應組件進行測試即可，而不需要專用的測試手段去測試其中某一組件，大大簡化了測試過程，具有結構簡單、靈活方便、能夠快速確定誤差所在的優點，提升了測試效率，降低了測試成本。

附圖說明

利用附圖對本實用新型作進一步說明，但附圖中的實施例不構成對本實用新型的任何限制，對于本領域的普通技術人員，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據以下附圖獲得其它的附圖。

圖1為本實用新型的光學實驗平臺的整體結構示意圖。

圖2為本實用新型的光學實驗平臺的龍門架和激光頭的結構示意圖。

圖3為本實用新型的光學實驗平臺的平行反射裝配體的結構示意圖。

圖4為本實用新型的光學實驗平臺的下反射裝配體的結構示意圖。

圖5為本實用新型的光學實驗平臺的折返上行光路組件的結構示意圖。

圖1至圖5中的附圖標記：

測試臺1，滑臺11；

龍門架2，光路底板21；

平行反射裝配體3，平行反射固定板31，鏡架32，反射鏡裝配體33，偏振鏡架34，偏振架墊塊35；

下反射裝配體4，下反射體固定板41，擴束鏡裝配體42，下反射調整板43，鏡架裝配體44；

折返上行光路組件5，折返固定板51，鏡架固定架52，鏡架裝配體53；

激光器6；

激光頭7。

具體實施方式

結合以下實施例對本實用新型作進一步描述。

本實用新型的提供 光學實驗平臺，如圖1至圖5所示，包括測試臺1、龍門架2、下反射裝配體4、平行反射裝配體33、折返上行光路組件5和激光器6，龍門架2固定于測試臺1上，龍門架2上固定有光路底板21，光路底板21上設有下反射裝配體4和平行反射裝配體33，下反射裝配體4連接激光頭7，測試臺1上還設有激光器6，該激光器6發射出的激光依次經過折返上行光路組件5、平行反射裝配體33、下反射裝配體4進入激光頭7中進行加工工作，將一個完整的激光組件設置于測試臺1上，需要對相關光學組件進行測試時，只需要使用待組件替換掉該光學實驗平臺中的相應組件進行測試即可，而不需要專用的測試手段去測試其中某一組件，大大簡化了測試過程，具有結構簡單、靈活方便、能夠快速確定誤差所在的優點，提升了測試效率，降低了測試成本。