[實用新型]單晶硅棒轉運裝置

有效

• 申請號: 201720609794.0
• 申請日: 2017-05-27
• 公開（公告）號: CN207388034U
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發明（設計）人: 盧建偉;李鑫
• 申請（專利權）人: 上海日進機床有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 上海巔石知識產權代理事務所(普通合伙) 31309
• 代理人: 張明;王再朝

1.一種單晶硅棒轉運裝置，應用于單晶硅棒多線切割設備中，所述單晶硅棒多線切割設備具有上料工位、開方作業工位、以及下料工位，其特征在于，所述單晶硅棒轉運裝置包括：

換向載具；

硅棒夾具，設于所述換向載具的硅棒夾具區；

其中，所述換向載具被驅動作換向運動，所述換向載具上的硅棒夾具在換向運動中將單晶圓硅棒由上料工位轉運至開方作業工位及/或將單晶硅方體由開方作業工位轉運至下料工位。

2.根據權利要求1所述的單晶硅棒轉運裝置，其特征在于，所述硅棒夾具包括：

硅棒夾具安裝件，設于所述換向載具上；以及

至少兩個硅棒夾持件，沿著所述硅棒夾具安裝件間距設置。

3.根據權利要求2所述的單晶硅棒轉運裝置，其特征在于，所述硅棒夾持件包括：

夾臂安裝座，設于所述夾具安裝件上；

兩個夾臂，活動設于所述夾臂安裝座上；所述夾臂上設有相對設置的兩個夾齒；以及

夾臂驅動機構，用于驅動所述兩個夾臂作開合動作；

其中，所述兩個夾臂在所述夾臂驅動機構驅動下夾合時，所述兩個夾臂上的夾齒夾持于單晶圓硅棒的柱面或者單晶硅方體的連接棱面。

4.根據權利要求3所述的單晶硅棒轉運裝置，其特征在于，所述夾臂驅動機構包括：

開合齒輪，設于所述夾臂上；

齒輪驅動件，具有與所述夾臂上的開合齒輪嚙合的齒紋；以及

驅動源，連接于所述齒輪驅動件，用于驅動所述齒輪驅動件運動。

5.根據權利要求4所述的單晶硅棒轉運裝置，其特征在于，

所述齒輪驅動件為齒條，所述齒條的相對兩側分別設有與至少兩個所述夾臂上的開合齒輪嚙合對應的齒紋；以及

所述驅動源為用于帶動所述齒條運動的氣缸或驅動電機。

6.根據權利要求4所述的單晶硅棒轉運裝置，其特征在于，

所述齒輪驅動件為驅動齒輪結構；以及

所述驅動源為用于帶動所述驅動齒輪結構運轉的驅動電機。

7.根據權利要求2所述的單晶硅棒轉運裝置，其特征在于，在所述硅棒夾具中，至少兩個硅棒夾持件中的至少一個硅棒夾持件設有導向驅動機構，用于驅動其沿著所述硅棒夾具安裝件運動，以調節所述至少兩個硅棒夾持件的間距。

8.根據權利要求7所述的單晶硅棒轉運裝置，其特征在于，所述導向驅動機構包括：導向絲杠和導向電機，其中，所述導向絲杠的一端連接于所述硅棒夾持件，所述導向絲杠的另一端連接于所述導向電機。

9.根據權利要求2或7所述的單晶硅棒轉運裝置，其特征在于，還包括高度檢測儀，設于所述換向載具上，用于檢測所述單晶圓硅棒的高度。