[實(shí)用新型]冷卻裝置的磁力泵結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720602686.0
• 申請(qǐng)日: 2017-05-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206903885U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林芳宏
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 捷亮科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F04D13/06
• 分類(lèi)號(hào): F04D13/06;F04D29/40;F04D7/00
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11243
• 代理人: 許靜,安利霞

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型與一種冷卻裝置有關(guān)，特別是指一種冷卻裝置的磁力泵結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

按，具有空調(diào)的大樓、半導(dǎo)體廠房、冷藏庫(kù)等，都必須透過(guò)冷卻系統(tǒng)，以對(duì)內(nèi)部進(jìn)行致冷，尤其半導(dǎo)體工業(yè)的集成電路生產(chǎn)制程中，不論是薄膜沉積、蝕刻或熱處理等制程，為求制造產(chǎn)品良率穩(wěn)定，均須將溫度維持在一特定范圍內(nèi)。

目前業(yè)界提供冷卻的裝置多采用冰水機(jī)，現(xiàn)有冰水機(jī)結(jié)構(gòu)主要是由蒸發(fā)器、水箱及泵浦等組件所構(gòu)成，并由管路依序相互串連而形成一冷卻循環(huán)系統(tǒng)。

當(dāng)水箱將冷水經(jīng)管路供給泵浦，泵浦經(jīng)管路將冷水輸送至欲冷卻物體，以使冷水與欲冷卻物體進(jìn)行熱交換，而將欲冷卻物體的熱能帶走，此時(shí)，管路內(nèi)的冷水因吸收欲冷卻物體的熱能而變成熱水，繼之，所述熱水經(jīng)管路輸送至蒸發(fā)器，以由蒸發(fā)器與冰水機(jī)內(nèi)部的冷源進(jìn)行熱交換，將管路內(nèi)的熱水的熱能帶走后，管路內(nèi)的水成為冷水，而再流回水箱中，依此，往復(fù)循環(huán)冷卻便可達(dá)到使半導(dǎo)體廠房等環(huán)境溫度維持在所需范圍效果。

然而，上述冰水機(jī)往往使用直立式泵，其主要的構(gòu)件由馬達(dá)座、管體、葉輪與前蓋組成，而泵于運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)是將液體向上抽，由一側(cè)的出口送出，但于停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)產(chǎn)生負(fù)壓將液體灌回管體中，且會(huì)快速的往上溢出，而泵排泄溢流的能力不足，往往造成泵的損傷。

另外，直立式泵因長(zhǎng)久使用，泵內(nèi)的冷卻液容易從葉輪的軸承之間泄漏，而冷卻液(例如，氟氯烴(CFC)、氫氟氯烴(HCFC)或氫氟烴(HFC))于泄漏后，還會(huì)蒸發(fā)使空氣中布有氟離子，而氟離子還有可能與空中的水分子(H₂O)反應(yīng)，從而生成氫氟酸(HF)，所述氫氟酸(HF)還有可能侵蝕于半導(dǎo)體制程中的芯片。

再者，由于上述直立式泵軸封處易產(chǎn)生泄露，因而造成生產(chǎn)過(guò)程中的損失；若冷卻液為具劇毒性化學(xué)物質(zhì)，則對(duì)環(huán)境、土地及工作人員而言，將造成無(wú)法彌補(bǔ)的傷害。

是以，本案創(chuàng)作人在觀察到上述缺失，遂而有本實(shí)用新型的產(chǎn)生。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的是提供一種冷卻裝置的磁力泵結(jié)構(gòu)，其設(shè)于一冷卻裝置內(nèi)的一冷卻循環(huán)模塊中，所述磁力泵結(jié)構(gòu)內(nèi)部葉輪內(nèi)的轉(zhuǎn)軸不需要延伸到后端的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，而可以完全密封于一隔離罩內(nèi)，因此不需要使用傳統(tǒng)的軸封機(jī)構(gòu)將內(nèi)轉(zhuǎn)軸延伸出所述隔離罩，整體上可以有效的防止冷卻液外泄。

本實(shí)用新型的次要目的是提供一種冷卻裝置的磁力泵結(jié)構(gòu)，其能免除上述軸承與轉(zhuǎn)子的直接接觸所產(chǎn)生的磨耗現(xiàn)象，進(jìn)而提升使用壽命。

本實(shí)用新型的又一目的是提供一種冷卻裝置的磁力泵結(jié)構(gòu)，其應(yīng)用半導(dǎo)體工業(yè)的集成電路生產(chǎn)制程中，并使其制造產(chǎn)品良率穩(wěn)定，且能防止冷卻液泄露而與空中的水分子(H₂O)反應(yīng)生成氫氟酸(HF)的問(wèn)題，以及免除造成生產(chǎn)過(guò)程中因冷卻液泄漏，所對(duì)環(huán)境、產(chǎn)品及工作人員造成的傷害。

為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型所提供的冷卻裝置的磁力泵結(jié)構(gòu)，其設(shè)于一冷卻裝置內(nèi)的一冷卻循環(huán)模塊中，所述冷卻循環(huán)模塊具有一蒸發(fā)器，所述蒸發(fā)器連接一加熱器，所述加熱器連接一儲(chǔ)存箱，所述儲(chǔ)存箱連接一磁力泵，所述磁力泵連接一壓力計(jì)，而所述壓力計(jì)連接一流量計(jì)，其中，所述磁力泵，包括有一驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，其一側(cè)具有一驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸，所述驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸連接有一外驅(qū)動(dòng)磁鐵，所述外驅(qū)動(dòng)磁鐵設(shè)于一軸筒內(nèi)，且所述外驅(qū)動(dòng)磁鐵凹設(shè)一容置槽，所述容置槽設(shè)有一隔離罩，且所述外驅(qū)動(dòng)磁鐵與所述隔離罩相隔有一間距，又，所述隔離罩內(nèi)具有一容置空間，所述容置空間內(nèi)設(shè)置有一內(nèi)轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)，所述內(nèi)轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)具有一轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的一端設(shè)有一內(nèi)驅(qū)動(dòng)磁鐵，而另一端連接一葉輪，一泵殼組件內(nèi)設(shè)有所述葉輪，且所述泵殼組件外側(cè)設(shè)有至少一吸入口及至少一排出口。

較佳地，其中所述泵殼組件具有一葉輪蓋及一殼體，所述殼體一側(cè)穿設(shè)有一穿孔，而另一側(cè)具有一開(kāi)口，而所述葉輪蓋封蓋所述開(kāi)口。

較佳地，其中所述葉輪具有一軸孔，所述軸孔內(nèi)設(shè)有一襯套。

較佳地，其中所述軸筒對(duì)應(yīng)于所述泵殼組件的一側(cè)更設(shè)有一固定架，所述固定架連接所述隔離罩。

較佳地，其中所述外驅(qū)動(dòng)磁鐵具有一連接部與一驅(qū)動(dòng)部，所述連接部連接所述驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸，而所述驅(qū)動(dòng)部設(shè)有所述容置槽。

較佳地，其中所述外驅(qū)動(dòng)磁鐵為外轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)。

較佳地，其中所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)磁鐵為內(nèi)轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)。

較佳地，其中當(dāng)所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)帶動(dòng)所述外驅(qū)動(dòng)磁鐵旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述外驅(qū)動(dòng)磁鐵應(yīng)用磁力的方式帶動(dòng)所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)磁鐵旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)所述內(nèi)轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)及所述葉輪旋轉(zhuǎn)，并推送所述泵殼組件內(nèi)的一液體。

較佳地，其中所述液體為冷卻液。