[實用新型]一種雙波長超外差干涉實時位移測量系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720602510.5
• 申請日: 2017-05-26
• 公開（公告）號: CN207019624U
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發(fā)明（設計）人: 潘德馨;盧乾波;白劍;汪凱巍
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司33200
• 代理人: 林超

1.一種雙波長超外差干涉實時位移測量系統(tǒng)，其特征在于：兩個激光器(1、2)發(fā)出兩束不同波長的激光，每束激光分別經(jīng)過各自的四分之一波片后入射到偏振分光棱鏡分為水平偏振和垂直偏振的兩路：其中水平偏振的一路依次經(jīng)過聲光調制器和反射鏡后反射，垂直偏振的一路經(jīng)過反射鏡后反射，兩個反射鏡各自的反射光入射到分光棱鏡合束輸出，合束光含有頻率不同且偏振方向不同的兩路輸出光；

兩路輸出光入射到第三分光棱鏡(16)合束并發(fā)生分束：分束后的一部分光經(jīng)過第一偏振片(17)到達第一光電探測器(18)，分束后的另一部分光入射到第三偏振分光棱鏡(19)發(fā)生反射和透射，分成垂直偏振和水平偏振的兩路；

經(jīng)第三偏振分光棱鏡(19)反射出的一路垂直偏振的光經(jīng)過第四四分之一波片(23)被參考反射鏡(24)反射后再次經(jīng)過第四四分之一波片(23)變?yōu)樗狡窆獠⒒氐降谌穹止饫忡R(19)；經(jīng)第三偏振分光棱鏡(19)透射出的一路水平偏振的光經(jīng)過第三四分之一波片(20)被被測反射鏡(21)反射后再次經(jīng)過第三四分之一波片(20)變?yōu)榇怪逼窆獠⒒氐降谌穹止饫忡R(19)，被測反射鏡(21)固定在被測物(22)表面；

回到第三偏振分光棱鏡(19)的兩路激光在第三偏振分光棱鏡(19)合束后入射到第四分光棱鏡(26)，發(fā)生反射和透射分束；透射的一部分經(jīng)過第二偏振片(25)被第二光電探測器(27)接收，反射的一部分經(jīng)過超窄帶濾波片(28)后再經(jīng)第三偏振片(29)被第三光電探測器(30)接收，第四光電探測器(31)置于第三光電探測器(30)旁。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種雙波長超外差干涉實時位移測量系統(tǒng)，其特征在于：所述的兩個激光器發(fā)出不同波長的激光，兩束激光的波長差為Δλ。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種雙波長超外差干涉實時位移測量系統(tǒng)，其特征在于：所述的兩個激光器發(fā)出的光為不同波長的線偏振光，經(jīng)過四分之一波片后變?yōu)閮墒鴪A偏振光，每束圓偏振光經(jīng)過偏振分光棱鏡后分別分束為兩束偏振方向互相垂直的線偏振光。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種雙波長超外差干涉實時位移測量系統(tǒng)，其特征在于：所述的超窄帶濾波片的中心波長與兩個激光器發(fā)出的兩束光中較小的波長相同，半高全寬小于Δλ/2。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種雙波長超外差干涉實時位移測量系統(tǒng)，其特征在于：所述的第三、第四光電探測器放置位置緊鄰且朝向相同。