[實用新型]膜式燃?xì)獗碚麢C密封性氦氣干檢系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720601555.0
• 申請日: 2017-05-26
• 公開（公告）號: CN207007438U
• 公開（公告）日: 2018-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李瑞強;王立明
• 申請（專利權(quán)）人: 廊坊潤能燃?xì)庠O(shè)備有限公司
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20;G01F25/00
• 代理公司: 北京卓恒知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)11394
• 代理人: 唐曙暉

1.一種膜式燃?xì)獗碚麢C密封性氦氣干檢系統(tǒng)，其特征在于，其包括檢漏真空箱、真空泵、真空計、閥門和管道，

其中，檢漏真空箱具有一個進(jìn)氣管道，進(jìn)氣管道的一端與檢漏真空箱內(nèi)的膜式燃?xì)獗淼倪M(jìn)氣口和出氣口連接，該進(jìn)氣管道的另一端分別連接有經(jīng)第一到第三閥門控制的氦氣進(jìn)氣管、回收抽空管道、放大氣管道，其中氦氣進(jìn)氣管、回收抽空管道、放大氣管道可切換地與檢漏真空箱內(nèi)的膜式燃?xì)獗淼倪M(jìn)氣口和出氣口連通；

該進(jìn)氣管道進(jìn)一步分支出一個用于對膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)空腔抽真空的膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)抽真空管道，該膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)抽真空管道經(jīng)由第四閥門連接于第一抽真空裝置，

檢漏真空箱的出口連接一個檢漏真空箱出口管道，該檢漏真空箱出口管道進(jìn)一步分為三個支路，第一支路經(jīng)由第五閥門連接第一抽真空裝置，第二支路經(jīng)由第六閥門連接第二抽真空裝置，該第二抽真空裝置進(jìn)一步經(jīng)由第七閥門連接于氦質(zhì)譜檢漏儀，該氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)一步連接第三抽真空裝置，第三支路經(jīng)由第八閥門連接排氣管道；

其中，第一抽真空裝置用于對膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)腔和膜式燃?xì)獗硗獾臋z漏真空箱內(nèi)部抽真空，第二抽真空裝置用于對膜式燃?xì)獗硗獾臋z漏真空箱內(nèi)部空間進(jìn)行進(jìn)一步抽真空。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氦氣干檢系統(tǒng)，其特征在于，該進(jìn)氣管道的另一端還連接有經(jīng)第九閥門控制的氮氣進(jìn)氣管，其中氦氣進(jìn)氣管、回收抽空管道、放大氣管道、氮氣進(jìn)氣管可切換地與檢漏真空箱內(nèi)的膜式燃?xì)獗淼倪M(jìn)氣口和出氣口連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氦氣干檢系統(tǒng)，其特征在于，第一抽真空裝置和第二抽真空裝置各自包括串聯(lián)的羅茨泵、真空泵。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的氦氣干檢系統(tǒng)，其特征在于，第一抽真空裝置能夠并聯(lián)連接多個檢漏真空箱和位于檢漏真空箱內(nèi)的多個膜式燃?xì)獗?，以及第二抽真空裝置能夠并聯(lián)連接多個檢漏真空箱。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的氦氣干檢系統(tǒng)，其特征在于，膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)抽真空管道分出一個支管經(jīng)由第十閥門連接氦氣回收系統(tǒng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的氦氣干檢系統(tǒng)，其特征在于，膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)抽真空管道分出一個支管經(jīng)由第十一閥門連通大氣。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氦氣干檢系統(tǒng)，其特征在于，氦氣回收系統(tǒng)包括依次連接的回收抽真空緩沖罐、真空泵、低壓罐、壓縮機、高壓鋼瓶。