[實(shí)用新型]藥液儲(chǔ)存槽及濕制程裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720593304.2
• 申請(qǐng)日: 2017-05-25
• 公開（公告）號(hào): CN206774585U
• 公開（公告）日: 2017-12-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭榮波;鄧世剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山國(guó)顯光電有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56;B67D99/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237
• 代理人: 智云

1.一種藥液儲(chǔ)存槽，其特征在于，包括：接收廢液的槽體、排液管道和用于對(duì)槽體內(nèi)的液體進(jìn)行攪拌的攪拌裝置，所述槽體具有一內(nèi)腔，所述排液管道的一端與所述槽體的內(nèi)腔連通，所述攪拌裝置設(shè)置于所述內(nèi)腔內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種藥液儲(chǔ)存槽，其特征在于，還包括回流管道，所述回流管道與所述內(nèi)腔的頂部連通，所述排液管道與所述內(nèi)腔的側(cè)壁連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種藥液儲(chǔ)存槽，其特征在于，所述排液管道與所述內(nèi)腔的側(cè)壁并靠近底部的位置連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種藥液儲(chǔ)存槽，其特征在于，所述槽體的形狀為立方體或圓柱體，所述槽體的側(cè)面靠近其底面處開設(shè)有與所述內(nèi)腔連通的第二接口，所述排液管道與所述第二接口連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種藥液儲(chǔ)存槽，其特征在于，所述攪拌裝置包括攪拌葉片和用于驅(qū)動(dòng)所述攪拌葉片轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸的一端貫穿所述槽體的底部設(shè)置于所述內(nèi)腔內(nèi)，所述葉片套設(shè)于所述輸出軸的一端上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種藥液儲(chǔ)存槽，其特征在于，所述攪拌裝置包括移動(dòng)擋板和用于驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)擋板往復(fù)運(yùn)動(dòng)的電機(jī)，所述移動(dòng)擋板設(shè)置于所述內(nèi)腔的底部。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的一種藥液儲(chǔ)存槽，其特征在于，還包括循環(huán)泵，所述循環(huán)泵的入口端和出口端均與所述內(nèi)腔連通。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種藥液儲(chǔ)存槽，其特征在于，所述循環(huán)泵的入口端與所述內(nèi)腔的底部連通。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種藥液儲(chǔ)存槽，其特征在于，所述槽體的形狀為立方體或圓柱體，所述槽體的側(cè)面靠近其底面處開設(shè)有與所述內(nèi)腔連通的第三接口，所述槽體的側(cè)面靠近其頂面處開設(shè)有與所述內(nèi)腔連通的第四接口，所述循環(huán)泵的入口端與所述第三接口連通，所述循環(huán)泵的出口端與所述第四接口連通。

10.一種濕制程裝置，包括刻蝕槽，還包括如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的藥液存儲(chǔ)槽。