[實用新型]一種烘干槽及槽式機臺

有效

• 申請號: 201720592785.5
• 申請日: 2017-05-25
• 公開（公告）號: CN206921843U
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 侯玉;張春華;衡陽;姜欣利;鄭旭然;邢國強
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 胡彬

1.一種烘干槽，其特征在于，包括具有容納待烘干硅片的封閉容納腔的槽體(1)、設置于所述槽體(1)側部的至少一個熱風管道(3)及設置于所述槽體(1)外部的至少一個抽風機(2)，所述槽體(1)的底部開設有抽風口(121)，所述熱風管道(3)的出風端與所述槽體(1)內部相連通，一個所述抽風機(2)通過連接管(4)連接于所述抽風口(121)與一個所述熱風管道(3)的進風端之間。

2.根據權利要求1所述的烘干槽，其特征在于，所述熱風管道(3)為兩個，對應的，所述抽風機(2)為兩個；兩個所述熱風管道(3)分別設置于所述槽體(1)的兩個相對的側部。

3.根據權利要求1所述的烘干槽，其特征在于，所述熱風管道(3)設置于所述槽體(1)的外側并穿過所述槽體(1)的側壁。

4.根據權利要求1-3任一項所述的烘干槽，其特征在于，所述熱風管道(3)內部設置有至少一個加熱管(31)，所述加熱管(31)的外側與所述熱風管道(3)的內側之間留有氣體通過的空隙。

5.根據權利要求4所述的烘干槽，其特征在于，所述熱風管道(3)內部設置有三個所述加熱管(31)，三個所述加熱管(31)平行間隔設置，所述加熱管(31)的延伸方向平行于與所述熱風管道(3)對應的所述槽體(1)的側面。

6.根據權利要求4所述的烘干槽，其特征在于，所述加熱管(31)連接有加熱裝置。

7.根據權利要求1-3任一項所述的烘干槽，其特征在于，所述熱風管道(3)的出風端設置有出風擋板(32)，所述出風擋板(32)開設有若干個錐形的出風孔(321)，所述出風孔(321)的小直徑端朝向所述熱風管道(3)，所述出風孔(321)的大直徑端朝向所述槽體(1)內部。

8.根據權利要求1-3任一項所述的烘干槽，其特征在于，所述槽體(1)的頂部設置有用于放入硅片的開口，所述開口處設置有蓋板(111)。

9.根據權利要求8所述的烘干槽，其特征在于，所述槽體(1)包括上下設置的上槽體(11)和下槽體(12)，所述熱風管道(3)連接于所述上槽體(11)側部；

所述上槽體(11)和所述下槽體(12)之間設置有用于支撐硅片的中間隔板(13)，所述中間隔板(13)開設有若干個連通所述上槽體(11)和所述下槽體(12)的槽體出風口(131)，

所述上槽體(11)的頂部開設所述開口，

所述下槽體(12)的底部設置所述抽風口(121)。

10.一種槽式機臺，其特征在于，包括權利要求1-9任一項所述烘干槽。