[實用新型]一種基于模組化高精度顯微鏡系統(tǒng)的測試裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720590474.5 | 申請日： | 2017-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN206804276U | 公開（公告）日： | 2017-12-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 余美群;周威 | 申請（專利權(quán)）人： | 茂萊(南京)儀器有限公司 |
| 主分類號： | G01M11/00 | 分類號： | G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙)32204 | 代理人： | 李倩 |
| 地址： | 211102 江蘇省南*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 模組化 高精度 顯微鏡 系統(tǒng) 測試 裝置 | ||
1.一種基于模組化高精度顯微鏡系統(tǒng)的測試裝置，其特征在于：包括測試平臺以及位于測試平臺上的相機(jī)模組、筒鏡模組、物鏡模組、目標(biāo)板、光源模組以及機(jī)械平移模組，所述機(jī)械平移模組與測試平臺相互契合連接，機(jī)械平移模組相對測試平臺沿縱向上下運(yùn)動，目標(biāo)板通過物鏡模組和筒鏡模組成像到相機(jī)模組上，目標(biāo)板固定在機(jī)械平移模組的連接件上，目標(biāo)板通過機(jī)械平移模組相對測試平臺沿縱向上下運(yùn)動；還包括數(shù)據(jù)處理單元，數(shù)據(jù)處理單元包括中央處理單元以及分別與中央處理單元連接的采集模塊和驅(qū)動模塊；其中，采集模塊連接相機(jī)模組，相機(jī)模組將采集到的圖片通過采集模塊傳輸給中央處理單元，驅(qū)動模塊連接機(jī)械平移模組。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于模組化高精度顯微鏡系統(tǒng)的測試裝置，其特征在于：所述目標(biāo)板通過光刻的方式在目標(biāo)板上刻畫亞微米線寬的目標(biāo)，包括橫向，縱向和45度多個方向的條紋和對比度方格。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于模組化高精度顯微鏡系統(tǒng)的測試裝置，其特征在于：所述目標(biāo)板包括MTF/CTF測試目標(biāo)板、畸變測試目標(biāo)板和空白測試目標(biāo)板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于模組化高精度顯微鏡系統(tǒng)的測試裝置，其特征在于：所述機(jī)械平移模組包括Z軸移動導(dǎo)軌，Z軸移動導(dǎo)軌的移動精度小于物鏡的1倍焦深的四分之一。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于模組化高精度顯微鏡系統(tǒng)的測試裝置，其特征在于：所述光源模組包括目標(biāo)板的背光照明、目標(biāo)板的側(cè)向照明和通過物鏡模組對目標(biāo)板的同軸照明。
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