[實用新型]驅動平臺及包含其的真空操縱系統

有效

• 申請號: 201720588687.4
• 申請日: 2017-05-24
• 公開（公告）號: CN206795869U
• 公開（公告）日: 2017-12-26
• 發明（設計）人: 金浩
• 申請（專利權）人: 上海凱世通半導體股份有限公司
• 主分類號: B25J17/00
• 分類號: B25J17/00
• 代理公司: 上海弼興律師事務所31283
• 代理人: 薛琦,曾鶯華

技術領域

本實用新型涉及一種驅動平臺及包含其的真空操縱系統。

背景技術

在大氣環境中，如果需要同時使得物體在兩個方向上線性移動具有多種實現方式。但是當被移動的物體位于真空腔中時，這種線性移動就遇到了困難。一般來說，出于設備的精簡和布線的便利性考慮，驅動器(例如電機)都是位于真空腔外的大氣環境中的，而被驅動物(例如離子注入機的引出電極)則是被置于真空腔中的。

一般來說，被驅動物的線性移動可以采用波紋管來實現，但是通過波紋管的移動只能實現單一方向的線性移動，如果要同時使得被驅動物實現在兩個不同方向上的移動就比較困難了，特別是在兩個相互垂直的方向上移動。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是為了克服現有技術真空腔中的被驅動物實現在兩個方向上的移動比較困難的缺陷，提供一種驅動平臺及包含其的真空操縱系統。

本實用新型是通過下述技術方案來解決上述技術問題：

一種驅動平臺，其特點在于，所述驅動平臺包括：

第一軀干平臺，所述第一軀干平臺的一端設有第一滑塊，所述第一滑塊滑設于第一導軌，所述第一軀干平臺的另一端設有第二導軌；

中間軀干平臺，所述中間軀干平臺與所述第一軀干平臺相對應的一端設有第二滑塊，所述第二滑塊滑設于所述第二導軌，所述中間軀干平臺還設有第三滑塊；

第二軀干平臺，所述第二軀干平臺與所述中間軀干平臺聯動，所述第二軀干平臺設有第三導軌，所述第三滑塊滑設于所述第三導軌；

其中，所述第一滑塊與所述第三滑塊的移動方向平行，所述第二滑塊的移動方向與所述第三滑塊的移動方向形成有一夾角。

在本技術方案中，通過設置所述驅動平臺的結構實現了被驅動物在真空腔中兩個不同方向上的移動，同時，實現第一軀干平臺帶動中間軀干平臺的移動不影響第二軀干平臺的移動，以及第二軀干平臺帶動中間軀干平臺的移動不影響第一軀干平臺的移動。

較佳地，所述夾角為90度。

較佳地，所述第二軀干平臺穿設于所述中間軀干平臺，且所述第二軀干平臺抵靠于所述中間軀干平臺。

在本技術方案中，通過設置所述第二軀干平臺穿設于所述中間軀干平臺的結構，使所述第二軀干平臺實現帶動所述中間軀干平臺沿所述第二軀干平臺的移動方向移動時，不影響所述第一軀干平臺的移動；同時，當第一軀干平臺帶動所述中間軀干平臺沿所述第一軀干平臺的移動方向移動時，不影響所述第二軀干平臺的移動。

較佳地，所述驅動平臺還包括第一驅動部件和第二驅動部件，所述第一驅動部件與所述第二軀干平臺連接，所述第二驅動部件與所述第一軀干平臺連接。

在本技術方案中，通過設置第一驅動部件帶動了第二軀干平臺沿第一驅動部件的移動方向的移動；通過設置第二驅動部件帶動了第一軀干平臺沿第二驅動部件的移動方向的移動。

較佳地，所述第二軀干平臺設有軸套，所述第一驅動部件的一端穿設于所述軸套。

較佳地，所述第二軀干平臺還設有萬向節，所述萬向節套設于所述軸套外。

在本技術方案中，通過設置萬向節，用于補償因第一驅動部件的移動方向和第二軀干平臺的移動方向不平行的情況，使得即使兩者不平行，也不會造成卡死。

一種真空操縱系統，所述真空操縱系統包括如上所述的驅動平臺。

本實用新型的積極進步效果在于：

本實用新型實現了被驅動物在真空腔中兩個不同方向上的移動，同時，實現第一軀干平臺帶動中間軀干平臺的移動不影響第二軀干平臺的移動，以及第二軀干平臺帶動中間軀干平臺的移動不影響第一軀干平臺的移動；并且，本實用新型結構簡單，節省成本。

附圖說明

圖1為本實用新型一較佳實施例的的驅動平臺的裝配示意圖。

圖2為本實用新型一較佳實施例驅動平臺的立體結構示意圖。

圖3為本實用新型一較佳實施例的驅動平臺的主視圖。

附圖標記說明

第一軀干平臺 10

第一滑塊 11

第二導軌 12

通孔 14

中間軀干平臺 20

第二滑塊 22

第三滑塊 23

上中間軀干平臺 24

下中間軀干平臺 25

容置腔 26

第二軀干平臺 30

第三導軌 33

軸套 34

萬向節 35

第一導軌 41

第一驅動部件的移動方向 A